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本发明降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的工艺装置，包括阳极筒，其特征在于所述阳极筒的外侧套装设有阳极套筒，阳极套筒由膨胀系数小于铜的膨胀系数的材料制成，阳极套筒与阳极筒之间为小间隙配合；本发明降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的工艺，包括如下步骤...
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