【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅微粉制备,具体涉及一种低游离碳碳化硅微粉生产方法。
技术介绍
1、碳化硅(s i c)是一种无机物,化学式为s i c。它可以用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然中以罕见的矿物莫桑石的形式存在,碳化硅的硬度介于刚玉和金刚石之间,机械强度高于刚玉,可作为磨料和其他某些工业材料使用。纯碳化硅是无色透明的晶体,而工业碳化硅则因所含杂质的种类和含量不同,而呈浅黄、绿、蓝乃至黑色。碳化硅晶体结构分为六方或菱面体的α-s i c和立方体的β-s ic(称立方碳化硅),是一种重要的无机非金属材料,具有广泛的用途和重要的战略意义。
2、在公开号为cn106890724a的中国专利中,提到了一种碳化硅微粉的生产工艺,包括以下步骤:s1将碳化硅分选、s2将半固态的碳化硅粉稀释、s3对碳化硅粉液体进行雾化、s4对碳化硅粉进行烘干、s5制成碳化硅粉成品,超声波振动筛的振动频率为50hz,且所述收集器为玻璃容器。采用水力分级锥形筒对碳化硅进行分选,其筛选的速度快且能很快地将超细的碳化硅分离出来,
...【技术保护点】
1.一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于:所述S2中,保护气体为惰性气体,惰性气体选用氮气或者氩气。
3.根据权利要求2所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于:所述S2中,反应炉温度控制在1450℃-1500℃,反应时间控制在5h—5.5h。
4.根据权利要求3所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于:所述S3中,浓酸选用浓度为97%以上的工业用浓硫酸。
5.根据权利要求4所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,
...【技术特征摘要】
1.一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于:所述s2中,保护气体为惰性气体,惰性气体选用氮气或者氩气。
3.根据权利要求2所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于:所述s2中,反应炉温度控制在1450℃-1500℃,反应时间控制在5h—5.5h。
4.根据权利要求3所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于:所述s3中,浓酸选用浓度为97%以上的工业用浓硫酸。
5.根据权利要求4所述的一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,其特征在于:...
【专利技术属性】
技术研发人员:李京波,张梦龙,
申请(专利权)人:浙江芯科半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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