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本发明涉及硅微粉制备领域，具体公开了一种低游离碳碳化硅微粉生产方法，本发明通过二氧化硅、纯碳和镁粉作为制作原料，首先将制作原料放在反应炉内部，加热反应炉使得制作原料反应产出碳化硅微粉，通过高温反应使得物料充分反应，产生碳化硅微粉和氧化镁，减...
该专利属于浙江芯科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江芯科半导体有限公司授权不得商用。

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