【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片上下料，尤其涉及一种硅片上下料机械手。
技术介绍
1、硅片是太阳能电池的重要材料，在加工过程中需要对硅片进行上传或下卸。
2、现有的硅片上下料方法大多由皮带传输来完成，这种设备占用空间大、机构复杂、灵活度低、响应慢、生产成本高，而较小的上下料机械手结构较为繁琐，伸缩范围较短且精度较短。
技术实现思路
1、为解决上述设备占用空间大、机构复杂、灵活度低、响应慢、生产成本高，以及传输过程中对硅片表面的磨损大，使得太阳能电池的转换效率降低的技术问题，本技术提供一种硅片上下料机械手。
2、本技术提供的硅片上下料机械手包括便于安装装置的安装座，所述安装座表面设置有垂直活动的升降台，且升降台顶端设置有二级伸缩机械手，二级伸缩机械手包括用于推动推拉板的伸缩设备以及固定设置于推拉板一侧的齿条，且齿条上方啮合有齿轮，齿轮通过同步轴、第一同步带、第一同步轮、第二同步轮以及第二同步带传动滑块水平移动，且滑块上方设置有用于取放硅片的料叉。
3、优选的，所述升降台一侧...
【技术保护点】
1.一种硅片上下料机械手，包括便于安装装置的安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)表面设置有垂直活动的升降台(2)，且升降台(2)顶端设置有二级伸缩机械手(3)，二级伸缩机械手(3)包括用于推动推拉板(33)的伸缩设备(32)以及固定设置于推拉板(33)一侧的齿条(34)，且齿条(34)上方啮合有齿轮(7)，齿轮(7)通过同步轴(8)、第一同步带(9)、第一同步轮(10)、第二同步轮(11)以及第二同步带(12)传动滑块(14)水平移动，且滑块(14)上方设置有用于取放硅片的料叉(15)。
2.根据权利要求1所述的硅片上下料机械手，其特征在于，所述升降...
【技术特征摘要】
1.一种硅片上下料机械手，包括便于安装装置的安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)表面设置有垂直活动的升降台(2)，且升降台(2)顶端设置有二级伸缩机械手(3)，二级伸缩机械手(3)包括用于推动推拉板(33)的伸缩设备(32)以及固定设置于推拉板(33)一侧的齿条(34)，且齿条(34)上方啮合有齿轮(7)，齿轮(7)通过同步轴(8)、第一同步带(9)、第一同步轮(10)、第二同步轮(11)以及第二同步带(12)传动滑块(14)水平移动，且滑块(14)上方设置有用于取放硅片的料叉(15)。
2.根据权利要求1所述的硅片上下料机械手，其特征在于，所述升降台(2)一侧设置有第二驱动设备(5)，且第二驱动设备(5)的动力输出端连接有旋转台(6)，旋转台(6)顶端设置有固定块(31)，且固定块(31)一侧设置有伸缩设备(32)，固定块(31)顶端与齿条(34)活动连接。
3.根据权利要求2所述的硅片上下料机械手，其特征在于，所述旋转台(6)顶端设置有固定板，且固定板表面设置有两组通孔，每组通孔内部分别设置有同步轴(8)，其中一组同步轴(8)一端与齿轮(7)相连接，另一端设置有第一同步轮(10)，另一组同步轴(8)一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄辉，陈运生，洪波，夏燕钦，
申请(专利权)人：杭州循泽半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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