【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于射频读写台领域，具体为一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台。
技术介绍
1、前开式晶圆传送盒，也叫foup，是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，它在半导体生产过程中自动化传送系统重要的传载容器,每个foup都有各种连接板，销和孔，以便foup位于装载端口上，并由自动化传送系统操纵。
2、foup上包含有rfid电子标签，通过工人使用各种识别工具识别rfid电子标签的内容，来识别foup及内部晶圆的信息。而foup中rfid电子标签的初始化信息写入则需要专业的设备进行操作，其要求也非常严格，需要信息读取具有非常高的准确性，设备工业等级高，长持续运行的稳定性和用户交互界面的简洁性。
3、公开号为cn216053071u的专利公开了一种foup射频读写台，其中rfid读取设备虽可以满足对rfid电子标签的读写，但仍然不能满足智能工厂中的需求，无法精准的解析foup类型。因此我们提出一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，来解决上述中遇到的问题。
技术实现思
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1.一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，其特征在于，包括读写台外壳(1)、定位器(5)、射频收发模块(10)、触摸显示屏(8)、主板(13)、信息控制处理模块(14)、调制解调模块(15)和晶圆盒(2)，所述晶圆盒(2)的底部开设有定位槽(3)，所述晶圆盒(2)上设置有玻璃管标签(4)；
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，其特征在于，所述读写台外壳(1)的表面固定连接有限位条(6)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，其特征在于，所述读写台外壳(1)的一侧固定连接有过滤网(16)。
4.根...
【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，其特征在于，包括读写台外壳(1)、定位器(5)、射频收发模块(10)、触摸显示屏(8)、主板(13)、信息控制处理模块(14)、调制解调模块(15)和晶圆盒(2)，所述晶圆盒(2)的底部开设有定位槽(3)，所述晶圆盒(2)上设置有玻璃管标签(4)；
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，其特征在于，所述读写台外壳(1)的表面固定连接有限位条(6)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，其特征在于，所述读写台外壳(1)的一侧固定连接有过滤网(...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡芯享信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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