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本发明提供一种半导体晶圆厂用晶圆传送盒射频读写台，包括读写台外壳、定位器、射频收发模块、触摸显示屏、主板、信息控制处理模块、调制解调模块。通过微动开关与晶圆盒触碰，分别由行程开关(A～D)的状态来判断晶圆盒的类型，同时压动触发式行程开关，激...
该专利属于无锡芯享信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯享信息科技有限公司授权不得商用。

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