【技术实现步骤摘要】
本申请涉及传感器，具体涉及一种传感结构及其制备方法。
技术介绍
1、传统的声电转换声传感器件主要包括动圈麦克风、振膜电容式麦克风、驻极体ecm麦克风等和目前市场主流的mems硅微麦克风等。然而这些声传感器多是基于刚性材质，存在硬度强、柔韧性差、厚度高及耗能大等特点。然而新兴的物联网、人工智能、可穿戴设备、无人平台和虚拟/增强现实技术等催生了对声传感器高度集成和超薄化的需求。
2、近年来，随着柔性电子的发展，基于柔性薄膜的功能材料和衬底材料广泛应用于可穿戴设备、无人平台等领域中，例如智能织物、可穿戴心电监测装置以及触觉或压力传感器等。其中基于压电聚合物薄膜的柔性声传感系统相较于传统的声电转换声传感器，具有传感面积大、灵敏度高、结构简单易共形、超薄等优点。基于压电聚合物薄膜声传感器具有重量轻、厚度薄、可任意变形、非侵入式安装等特点而在此类应用中受到关注。对于薄膜声传感器的需要薄膜与集成结构有较好的共形能力，从而适应基底结构变形并保持传感功能的有效性及可重构。然而目前大多数应用中基底产生较大变形或结构重构时，传感薄膜会脱离基体本体...
【技术保护点】
1.一种传感结构，其特征在于，包括可变形基底和位于所述可变形基底上的压电薄膜层，所述压电薄膜层上设有预设切割图案，所述预设切割图案使所述压电薄膜层的形状随所述可变形基底的形变而产生变化。
2.根据权利要求1所述的传感结构，其特征在于，所述压电薄膜层包括压电薄膜和位于所述压电薄膜的两侧表面的导电金属层。
3.根据权利要求1所述的传感结构，其特征在于，所述预设切割图案包括多个均匀分布且间隔的切割线条。
4.根据权利要求1所述的传感结构，其特征在于，所述传感结构还包括信号采集与显示系统，所述信号采集与显示系统和所述压电薄膜层之间设有柔性音
【技术特征摘要】
1.一种传感结构，其特征在于，包括可变形基底和位于所述可变形基底上的压电薄膜层，所述压电薄膜层上设有预设切割图案，所述预设切割图案使所述压电薄膜层的形状随所述可变形基底的形变而产生变化。
2.根据权利要求1所述的传感结构，其特征在于，所述压电薄膜层包括压电薄膜和位于所述压电薄膜的两侧表面的导电金属层。
3.根据权利要求1所述的传感结构，其特征在于，所述预设切割图案包括多个均匀分布且间隔的切割线条。
4.根据权利要求1所述的传感结构，其特征在于，所述传感结构还包括信号采集与显示系统，所述信号采集与显示系统和所述压电薄膜层之间设有柔性音频电路。
【专利技术属性】
技术研发人员：彭祖军，李珂，何申伟，潘鹏，杨家乐，
申请(专利权)人：钱塘科技创新中心，
类型：发明
国别省市：
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