温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种传感结构及其制备方法，传感结构包括可变形基底和位于可变形基底上的压电薄膜层，压电薄膜层上设有预设切割图案，预设切割图案使压电薄膜层的形状随可变形基底的形变而产生变化。传感结构的制备方法，包括提供一压电薄膜层和一可变形基底；在压...
该专利属于钱塘科技创新中心所有，仅供学习研究参考，未经过钱塘科技创新中心授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。