一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置制造方法及图纸

本技术公开了一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置，包括抛光组件、控制电箱、床身主体、伺服电机A、伺服电机B、伺服旋转台、底部支架；所述控制电箱安装在床身主体上，与所述伺服电机A、伺服电机B、伺服旋转台信号连接；所述抛光组件包括：石英喷灯部、火焰枪部；所述石英喷灯部用于为石英管内壁加热与抛光；所述火焰枪部用于对石英管外壁实施火焰抛光。该装置结构简单，布局合理，在应用时通过精准控制枪头角度、火焰位置、抛光时间、抛光速度等参数保证抛光质量，降低石英管炸裂风险从而减少资源浪费。

【技术实现步骤摘要】

本技术公开涉及石英管加工，尤其涉及一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置。

技术介绍

1、大尺寸石英管被广泛应用在太阳能光伏领域、半导体领域的硅片表面处理设备。硅片表面处理常采用气相沉积工艺，因此要求石英管表面光滑、不易藏污、易清洗，表面粗糙度ra0.4以下，才能防止气相沉积过程的气体颗粒附着、堆积形成大颗粒后脱落，飞落在硅片表面造成缺陷，影响工艺质量。

2、此外，石英管加工过程为保证表面洁净度，需经过5％—10％浓度的氢氟酸液清洗，清洗过程会将石英管加工过程中的轻微划伤或表面气孔进一步显现出来，增加表面粗糙度。

3、为达到石英管表面质量，现有加工方法为人工手持高纯度氢氧焰火焰枪对石英管表面进行持续高温抛光，依据人工经验控制火焰枪与石英管表面距离以及火焰枪移动速度达到抛光质量。具体微观过程为：在高温作用下玻璃表面承轻微软化状，分子间会在表面张力的作用下紧密连接，从而使石英管表面光滑紧实。

4、但上述现有加工方式存在以下问题：1)对人员经验要求较高，且工作效率低。以直径300mm长度2000mm的石英管为例，每成功抛光一根石本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置，其特征在于，包括抛光组件、控制电箱(1)、床身主体(2)、伺服电机A(3)、伺服电机B(8)、伺服旋转台(9)、底部支架(12)；

2.根据权利要求1所述的一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置，其特征在于，所述石英喷灯部为一体式结构，包括连接杆一、石英喷灯基管(5)，所述石英喷灯基管(5)固定在连接杆一底端，所述连接杆一为直角弯度杆；

3.根据权利要求1所述的一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置，其特征在于，包括冷却结构，所述冷却结构安装在床身主体(2)上，包括冷水板(6)、冷却水箱(13)、冷却水泵(15)及散热器(14...

【技术特征摘要】

1.一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置，其特征在于，包括抛光组件、控制电箱(1)、床身主体(2)、伺服电机a(3)、伺服电机b(8)、伺服旋转台(9)、底部支架(12)；

2.根据权利要求1所述的一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置，其特征在于，所述石英喷灯部为一体式结构，包括连接杆一、石英喷灯基管(5)，所述石英喷灯基管(5)固定在连接杆一底端...

【专利技术属性】
技术研发人员：石丽颖，宋宇洲，
申请(专利权)人：沈阳晶润半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：