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本技术公开了一种应用于大尺寸石英管的自动抛光装置，包括抛光组件、控制电箱、床身主体、伺服电机A、伺服电机B、伺服旋转台、底部支架；所述控制电箱安装在床身主体上，与所述伺服电机A、伺服电机B、伺服旋转台信号连接；所述抛光组件包括：石英喷灯部、...
该专利属于沈阳晶润半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳晶润半导体材料有限公司授权不得商用。

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