【技术实现步骤摘要】
本技术涉及平面度检测，具体涉及一种平面度检测设备。
技术介绍
1、平整度是指基板的宏观凹凸高度与理想平面的偏差。平面度测量是指被测实际表面与其理想平面的偏差。工件在生产加工的过程中，由于加工工艺或者加工设备的因素，导致工件的表面容易出现不平整的情况，因此需要使用平面度检测设备对工件的表面进行平面测检测。平面度不达标的工件将进行二次加工，直至平面度达到生产要求。
2、测量平面度的方式包括塞尺测量、影像测量仪测量、接触探针测量以及激光测量等。
3、针对上述相关技术，申请人认为相关技术中，塞尺测量、接触探针测量的方式中的塞尺以及探针容易刮伤工件，影像测量仪测量测量效率较低，而激光测量的方式投入成本较高，因此，亟需一种不易刮伤工件、测量效率较高、成本较低的平面度检测设备。
技术实现思路
1、本技术目的在于提供一种平面度检测设备，以较高的效率对工件平面度进行检测，且不易刮伤工件、制造成本较低。
2、本技术通过下述技术方案实现：
3、一种平面度检测设备，...
【技术保护点】
1.一种平面度检测设备，其特征在于：包括工件平台(1)以及检测组件，所述检测组件包括顶板(2)、套筒(3)、压力传感器(4)、弹簧(5)、导向杆(6)以及滚轮(7)，所述顶板(2)滑动设置在工件平台(1)上方，所述顶板(2)的滑动方向与工件平台(1)的上表面相平行，所述套筒(3)设置在顶板(2)下表面，所述压力传感器(4)以及弹簧(5)均位于套筒(3)内部，且所述压力传感器(4)的一侧与顶板(2)连接、另一侧与弹簧(5)的一端连接，所述压力传感器(4)连接有控制器，所述弹簧(5)远离压力传感器(4)的一端与导向杆(6)连接，所述导向杆(6)与弹簧(5)相连的一端位于套...
【技术特征摘要】
1.一种平面度检测设备，其特征在于：包括工件平台(1)以及检测组件，所述检测组件包括顶板(2)、套筒(3)、压力传感器(4)、弹簧(5)、导向杆(6)以及滚轮(7)，所述顶板(2)滑动设置在工件平台(1)上方，所述顶板(2)的滑动方向与工件平台(1)的上表面相平行，所述套筒(3)设置在顶板(2)下表面，所述压力传感器(4)以及弹簧(5)均位于套筒(3)内部，且所述压力传感器(4)的一侧与顶板(2)连接、另一侧与弹簧(5)的一端连接，所述压力传感器(4)连接有控制器，所述弹簧(5)远离压力传感器(4)的一端与导向杆(6)连接，所述导向杆(6)与弹簧(5)相连的一端位于套筒(3)内且与套筒(3)滑动配合、另一端与滚轮(7)转动相连，所述滚轮(7)的中轴线与工件平台(1)的上表面相平行。
2.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于：所述检测组件设置有多个，多个所述检测组件均沿同一方向滑动设置在工件平台(1)的上方，多个所述检测组件的滚轮(7)与工件平台(1)之间的距离一致，且多个所述检测组件的滚轮(7)中轴线相平行或者重合。
3.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于：所述工件平台(1)上方间隔设置有两块竖板(9)，两块所述竖板(9)上方设置有吊板(10)，所述吊板(10)的下表面开设有滑槽(11)，所述滑槽(11)的长度方向与滚轮(7)的中轴线相垂直，所述顶板(2)上设置有滑块(12)，所述滑块(12)位于滑槽(11)内...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯超华，焦秋华，
申请(专利权)人：四川索岛智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。