皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台制造技术

本发明专利技术涉及皮秒激光加工设备的高精度Ｚ轴载物平台，在Ｚ平台底板上固定Ｚ固定板，Ｚ固定板上安装竖立的导轨，在导轨上安装可沿导轨上下运动的升降板，用于控制升降板上下运动的压电陶瓷电机安装在Ｚ平台底板上，在升降板的前侧面固定一竖立的前侧板，在升降板的后侧面固定一竖立的后侧板，前侧板与后侧板为平行对称设置；在Ｚ固定板上设置传感器，在前侧板或后侧板的内侧面上设置传感器感应片；在Ｚ固定板上设置读数头，在前侧板或后侧板的内侧面上贴有光栅尺；在前侧板和后侧板上放置治具板。本发明专利技术采用分辨率高的压电陶瓷电机控制Ｚ轴启停和升降动作，光栅尺保证其升降定位精度，配重机构解决陶瓷电机动态推力和静态保持力不足的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及皮秒激光精加工设备，尤其涉及皮秒激光加工设备的高精度z轴载物平台。
技术介绍
目前，激光精细加工设备中z轴载物平台一般由电机旋转运动带动滚珠丝杆进行直线运动，再由滚珠丝杆的直线运动带动载物平台实现垂直升降。z轴载物平台要求平台在一定行程范围内能随时精确定位，从而满足机器的运动和加工工艺要求；其重复定位精度一般在士3 5um，这个精度远不能满足皮秒激光精细加工设备的升降精度要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，可以很好地满足皮秒激光精细加工设备的升降精度要求。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，特点是在Z平台底板上固定Z固定板，所述Z固定板上安装竖立的导轨，在所述导轨上安装一可沿导轨上下运动的升降板，用于控制升降板上下运动的压电陶瓷电机安装在Z平台底板上，所述压电陶瓷电机驱动升降板沿导轨上下运动，在所述升降板的前侧面固定一竖立的前侧板，在所述升降板的后侧面固定一竖立的后侧板，前侧板与后侧板为平行对称设置；还在所述Z固定板上设置传感器，相应地，在前侧板或后侧板的内侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
皮秒激光加工设备的高精度Ｚ轴载物平台，其特征在于：在Ｚ平台底板（１）上固定Ｚ固定板（２），在所述Ｚ固定板（２）上安装竖立的导轨（３），在所述导轨（３）上安装一可沿导轨（３）上下运动的升降板（４），用于控制升降板（４）上下运动的压电陶瓷电机（７）安装在Ｚ平台底板（１）上，所述压电陶瓷电机（７）驱动升降板（４）沿导轨（３）上下运动，在所述升降板（４）的前侧面固定一竖立的前侧板（８），在所述升降板（４）的后侧面固定一竖立的后侧板（９），前侧板（８）与后侧板（９）为平行对称设置；还在所述Ｚ固定板（２）上设置传感器（１０），相应地，在前侧板（８）或后侧板（９）的内侧面上设置传感器感应片（１１）；在所述Ｚ...

【技术特征摘要】
1.皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于在Z平台底板(1)上固定Z固定板(2)，在所述Z固定板(2)上安装竖立的导轨(3)，在所述导轨(3)上安装一可沿导轨(3)上下运动的升降板(4)，用于控制升降板(4)上下运动的压电陶瓷电机(7)安装在Z平台底板(1)上，所述压电陶瓷电机(7)驱动升降板(4)沿导轨(3)上下运动，在所述升降板(4)的前侧面固定一竖立的前侧板(8)，在所述升降板(4)的后侧面固定一竖立的后侧板(9)，前侧板(8)与后侧板(9)为平行对称设置；还在所述Z固定板(2)上设置传感器(10)，相应地，在前侧板(8)或后侧板(9)的内侧面上设置传感器感应片(11)；在所述Z固定板(2)上设置读数头，相应地，在前侧板(8)或后侧板(9)的内侧面上贴有光栅尺(12)；在所述前侧板(8)和后侧板(9)上放置治具板(16)，在所述治具板(16)上沿横向设置一横定位块(17)、沿纵向设置一纵定位块(18)。2. 根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于在所述Z平台底板(1)上且位于前侧板(8)内侧的左右两端分别设置一定滑轮机构，对应地，在所述Z平台底板(1)上且位于后侧板(9)内侧的左右两端也分别设置一定滑轮机构；在前侧板(8)右端的定滑轮机构与后侧板(9)右端的定滑轮机构之间安放右配重块(15)，前侧板(8)的右端连接一钢丝绳(14)，钢丝绳(14)经...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，徐礼江，
申请(专利权)人：苏州德龙激光有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]