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本发明涉及皮秒激光加工设备的高精度Ｚ轴载物平台，在Ｚ平台底板上固定Ｚ固定板，Ｚ固定板上安装竖立的导轨，在导轨上安装可沿导轨上下运动的升降板，用于控制升降板上下运动的压电陶瓷电机安装在Ｚ平台底板上，在升降板的前侧面固定一竖立的前侧板，在升降板...
该专利属于苏州德龙激光有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德龙激光有限公司授权不得商用。

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