一种真空传感器组件及其制造方法技术

本申请公开一种真空传感器组件及其制造方法，涉及真空度检测技术领域。真空传感器组件包括至少一个内壳，内壳包括底座和罩壳，罩壳开设有透气孔，底座固定有引脚，引脚穿过底座；第一真空传感器，其固定于底座上，第一真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接；第二真空传感器，其固定于底座上，第二真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接；外壳体，内壳固定在外壳体内，内壳的底座固定于安装孔内以使引脚裸露在外壳体外侧。可以利用第一真空传感器测量靠近大气压段的低真空段，利用第二真空传感器测量高真空段，从而有效拓宽真空度测量量程，同时提高整个量程范围内的测量精度。并且在测量过程中不必频繁的更换或切换真空传感器，提高了测量效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及真空度检测，尤其涉及一种真空传感器组件及其制造方法。

技术介绍

1、真空度检测广泛应用于航空航天、工业生产、消费电子、食品生产、先进材料加工、半导体等领域，真空度传感器作为真空检测的核心元件具有重大的应用潜力。目前美、瑞、德、日等制造强国垄断了我国高端智能真空传感器市场，并仍在积极研制新一代宽量程高精度传感器，以满足日益迫切的高端装备智能化需求。我国亟需在真空传感元件及传感器的检测机理、加工技术和处理电路等方面取得原始创新和重大技术突破，助力我国从制造大国向制造强国转变。

2、现有技术中，各种类型的真空度传感器原理不同，一些真空度传感器在高真空度区域间内检测精度较大，一些真空度传感器在低真空度区域间内检测精度较大，目前主要采用不同的真空度传感器分别测量不同真空环境的真空度，测试效率较低。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种真空传感器组件及其制造方法，以拓宽真空度的量程，提高真空度的测试效率。

2、为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

<p>3、一种真空传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空传感器组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空传感器组件，其特征在于，所述第一真空传感器为绝对压力传感器；和/或，所述第一真空传感器包括电容式传感器、压阻式传感器或压电式传感器；和/或，所述第二真空传感器为皮拉尼真空传感器、谐振式压力传感器或光学压力传感器。

3.根据权利要求2所述的真空传感器组件，其特征在于，还包括调理芯片，所述调理芯片与所述绝对压力传感器的芯片通讯连接，所述调理芯片用于将所述绝对压力传感器的电信号转换为数字信号；

4.根据权利要求3所述的真空传感器组件，其特征在于，所述内壳的数量为两个且分别为第一内壳和第二...

【技术特征摘要】

1.一种真空传感器组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空传感器组件，其特征在于，所述第一真空传感器为绝对压力传感器；和/或，所述第一真空传感器包括电容式传感器、压阻式传感器或压电式传感器；和/或，所述第二真空传感器为皮拉尼真空传感器、谐振式压力传感器或光学压力传感器。

3.根据权利要求2所述的真空传感器组件，其特征在于，还包括调理芯片，所述调理芯片与所述绝对压力传感器的芯片通讯连接，所述调理芯片用于将所述绝对压力传感器的电信号转换为数字信号；

4.根据权利要求3所述的真空传感器组件，其特征在于，所述内壳的数量为两个且分别为第一内壳和第二内壳，所述绝对压力传感器和调理芯片设置于所述第一内壳内，所述皮拉尼真空传感器设置于所述第二内壳内；

5.根据权利要求1所述的真空传感器组件，其特征在于，还包括校准融合模块，所述校准融合模块用于比较第一真空传感器和第二真空传感器测得的真空度，和/或，所述校准融合模块用于根据第一真空传感器和第二真空传感器测得的真空度计算得出真空度终值。

6.根据权利要求1所述的真空传感器组件，其特征在于，所述内壳的数量为两个且分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙宏霖，乔靖评，周志强，杜文丽，
申请(专利权)人：苏州容启传感器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：