下载一种真空传感器组件及其制造方法的技术资料

文档序号:41497301

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本申请公开一种真空传感器组件及其制造方法,涉及真空度检测技术领域。真空传感器组件包括至少一个内壳,内壳包括底座和罩壳,罩壳开设有透气孔,底座固定有引脚,引脚穿过底座;第一真空传感器,其固定于底座上,第一真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接;...
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