薄膜厚度的测试方法技术

本申请涉及一种薄膜厚度的测试方法，包括以下步骤：将单侧表面面积为S的待测薄膜进行能谱扫描，获得待测薄膜中特征元素的质量分数ω，待测薄膜的质量为m；根据待测薄膜中特征元素的质量分数ω、待测薄膜的质量m、特征元素的密度ρ和待测薄膜的单侧表面面积S，得到待测薄膜的厚度h；其中，h=γ·(m·ω)/(ρ·S)，γ为1.7~2。该测试方法将含有特征元素的待测薄膜进行能谱扫描，并控制待测薄膜的单侧表面面积为S，获得待测薄膜中特征元素的质量分数ω，通过单侧表面面积S、待测薄膜中特征元素的质量分数ω和待测薄膜的质量m及特征元素的密度ρ，可获得待测薄膜的厚度h，且准确性较高，可快速预测铝合金等基材上的钝化薄膜层的耐腐蚀趋势。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及膜厚检测，特别是涉及一种薄膜厚度的测试方法。

技术介绍

1、目前，测试铝合金等基材上的钝化薄膜层的耐腐蚀性能常用盐雾试验、实际环境暴晒试验等方法，这些方法一般需要1个月或者更长时间才能出试验结果，试验周期较长。对于相同材料形成的钝化薄膜层，钝化薄膜层的厚度可快速预测铝合金等基材上的钝化薄膜层的耐腐蚀趋势。然而，由于铝合金等基材上的钝化薄膜层的厚度小于1微米，常规磁性测量方法会导致测量误差较大已不再适用；若采用扫描电子显微镜的方法直接观测厚度，一方面厚度较小不易观察到，另一方面，对于小于1微米的薄膜层厚度，若是非专业工程师进行操作，对电镜参数设置等不够准确，直接影响到检测精度，易造成较大误差。

2、因此，有必要对传统技术进行改进。

技术实现思路

1、基于此，本申请提供了一种准确度较高的薄膜厚度的测试方法。

2、本申请解决上述技术问题的技术方案如下。

3、本申请提供了一种薄膜厚度的测试方法，包括以下步骤：

4、将单侧表面面积为s的待测薄膜进行能谱扫描，获得本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜厚度的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述特征元素的质量分数ω为20%~35%。

3.如权利要求2所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述γ满足如下条件：

4.如权利要求3所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，获得所述待测薄膜中所述特征元素的质量分数ω包括以下步骤：

5.如权利要求1所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述特征元素包括金属元素和硅元素中的一种。

6.如权利要求1所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述特征元素包括Cr、Zr和Si中的一种...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜厚度的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述特征元素的质量分数ω为20%~35%。

3.如权利要求2所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述γ满足如下条件：

4.如权利要求3所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，获得所述待测薄膜中所述特征元素的质量分数ω包括以下步骤：

5.如权利要求1所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述特征元素包括金属元素和硅元素中的一种。

6.如权利要求1所述的薄膜厚度的测试方法，其特征在于，所述特征元素包括cr、zr和si中的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：张靖，刘晶怡，周胜蓝，黄天宇，
申请(专利权)人：一汽解放汽车有限公司，
类型：发明
国别省市：