下载薄膜厚度的测试方法的技术资料

文档序号:41483020

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本申请涉及一种薄膜厚度的测试方法,包括以下步骤:将单侧表面面积为S的待测薄膜进行能谱扫描,获得待测薄膜中特征元素的质量分数ω,待测薄膜的质量为m;根据待测薄膜中特征元素的质量分数ω、待测薄膜的质量m、特征元素的密度ρ和待测薄膜的单侧表面面积...
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