【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石膜制备，特别涉及一种微波加热的化学气相沉积设备。
技术介绍
1、金刚石膜具有高硬度、低摩擦系数、高热导率、高透光性、宽禁带宽度、高电阻率、高击穿场强以及高载流子迁移率等一系列优异性能，是一种性能极为优越的多功能材料。正是由于在如此多的方面都有极佳的表现，因而金刚石膜是21世纪新材料领域中最吸引人瞩目的热点材料之一。目前人工合成金刚石的方法有高温高压法(hthp)，直流电弧等离子体喷射法(dcapj)，热丝化学气相沉积法(hfcvd)，微波等离子体化学气相沉积法(mpcvd)，其中mpcvd是制备高品质金刚石膜的首选方法。这是由于微波激发的等离子可控性好，等离子密度高，无电极污染等一系列优点。现在进行化学气相沉积时往往会使用气相沉积设备，由于气相沉积设备运行时，内部温度高，如果基片台散热时长不够时，人们在拿取时非常容易被烫伤，安全系数低，不便于使用，且当微波反应室内存在温度梯度不均匀的情况时、微波反应室内外的压力差过大时和气体的流速过低，或者气体流速不均匀时，均可能导致气体在微波反应室内停滞或积聚，从而产生气体回流，导致微...
【技术保护点】
1.一种微波加热的化学气相沉积设备，其特征在于：包括气体混合器(1)和微波反应室(2)，所述微波反应室(2)开口端铰接有密封门(3)，气体混合器(1)表面固定连通有进气管(4)和排气管(5)，进气管(4)与外部气源连通，排气管(5)出口端固定连通有连通管(7)，连通管(7)出口端延伸至微波反应室(2)内，排气管(5)与连通管(7)之间设置有流量调节器(6)，连通管(7)出口端设置有单向流通机构，微波反应室(2)内腔底壁开设有滑槽(10)，滑槽(10)内侧壁滑动连接有滑块(11)，滑块(11)上表面固定连接有基片台(12)，基片台(12)下表面设置有传动机构。
<...【技术特征摘要】
1.一种微波加热的化学气相沉积设备，其特征在于：包括气体混合器(1)和微波反应室(2)，所述微波反应室(2)开口端铰接有密封门(3)，气体混合器(1)表面固定连通有进气管(4)和排气管(5)，进气管(4)与外部气源连通，排气管(5)出口端固定连通有连通管(7)，连通管(7)出口端延伸至微波反应室(2)内，排气管(5)与连通管(7)之间设置有流量调节器(6)，连通管(7)出口端设置有单向流通机构，微波反应室(2)内腔底壁开设有滑槽(10)，滑槽(10)内侧壁滑动连接有滑块(11)，滑块(11)上表面固定连接有基片台(12)，基片台(12)下表面设置有传动机构。
2.根据权利要求1所述的一种微波加热的化学气相沉积设备，其特征在于：传动机构包括有活动槽(13)、螺纹杆(14)、螺纹套(15)和活动块(16)，所述微波反应室(2)内腔底壁还开设有活动槽(13)，活动槽(13)内侧壁转动连接有螺纹杆(14)，螺纹杆(14)表面螺纹连接有螺纹套(15)，螺纹套(15)表面固定连接有活动块(16)，活动块(16)上表面与基片台(12)下表面固定相连，且活动块(16)与活动槽(13)滑动相连。
3.根据权利要求1所述的一种微波加热的化学气相沉积设备，其特征在于：所述微波反应室(2)侧壁固定连接有伺服电机...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊飞，王中喜，王安琪，刘杰，
申请(专利权)人：湖北新德晟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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