下载一种微波加热的化学气相沉积设备的技术资料

文档序号:41475128

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及金刚石膜制备技术领域,公开了一种微波加热的化学气相沉积设备,包括气体混合器和微波反应室,微波反应室开口端铰接有密封门,气体混合器表面固定连通有进气管和排气管,进气管与外部气源连通,排气管出口端固定连通有连通管,连通管出口端延伸至微...
该专利属于湖北新德晟材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北新德晟材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。