一种单片晶圆清洗设备挡液装置制造方法及图纸

本申请涉及一种单片晶圆清洗设备挡液装置，由第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒三层挡液结构组成，第一挡液筒的竖直部分的底部朝向第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第一凸缘；第二挡液筒的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘和第三凸缘；第三挡液筒的竖直部分的底部朝向第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第四凸缘，第四凸缘伸入第三凸缘内；从而使三层挡液筒在升起时，相互配合形成弯折的气体通道，能够减少溅入的清洗液的量，并且通过第二挡液筒的两侧的凹陷处能收集溅入的清洗液，以便于后续的处理。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于晶圆清洗设备，尤其是涉及一种单片晶圆清洗设备挡液装置。

技术介绍

1、单片晶圆就是一块一块对晶圆进行清洗的装置，中国专利技术专利文献cn112750734b公开了一种单晶圆载体清洗干燥装置，该文献中，尤其是图6中可以看到该装置中由若干层挡液筒来进行清液液的收集和回收，然而该装置中，清洗液能够直接沿着相邻两个挡液筒的间隙流出，能够直接流入到挡液筒的下方，从而导致液体收集不方便。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够减少溅入的清洗液的量并方便收集少溅入的清洗液单片晶圆清洗设备挡液装置。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种单片晶圆清洗设备挡液装置，包括：从内向外依次布置的第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒；

4、所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒分别包括竖直部分和位于竖直部分顶部的向着中心方向延伸的顶端部；

5、所述第一挡液筒的竖直部分的底部朝向所述第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第一凸本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，包括：从内向外依次布置的第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)；

2.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的下边缘具有凸起(37)，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的上边缘具有凹陷(38)，且所述第二挡液筒(32)的凸起(37)能够与所述第一挡液筒(31)的凹陷(38)配合，所述第三挡液筒(33)的凸起(37)能够与所述第二挡液筒(32)的凹陷(38)配合。>

3.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，包括：从内向外依次布置的第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)；

2.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的下边缘具有凸起(37)，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的上边缘具有凹陷(38)，且所述第二挡液筒(32)的凸起(37)能够与所述第一挡液筒(31)的凹陷(38)配合，所述第三挡液筒(33)的凸起(37)能够与所述第二挡液筒(32)的凹陷(38)配合。

3.根据权利要求2所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的边缘位置具有向上抬起的部分。

4.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)中间为单片晶圆支撑盘(1)，单片晶圆支撑盘(1)由第一驱动件(2)驱动而转动。

5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，李博伦，郭亚飞，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：