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本申请涉及一种单片晶圆清洗设备挡液装置，由第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒三层挡液结构组成，第一挡液筒的竖直部分的底部朝向第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第一凸缘；第二挡液筒的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘和第三凸缘；第三...
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