一种二流体显影蚀刻喷淋装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于线路板显影蚀刻处理技术领域，公开了一种二流体显影蚀刻喷淋装置及方法，所述装置包括输送机构、一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段，一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段分别设置有一流体喷嘴和二流体喷嘴，还包括：加热机构，设置在二流体喷嘴进气的一侧，用于对输送给二流体喷嘴的压缩气体进行加热，使得进入二流体喷嘴的压缩气体与蚀刻液混合后所得到的气液混合蚀刻流体的温度达到所需工艺温度；冷凝回收机构，包括抽风冷凝器，抽风冷凝器抽取显影蚀刻处理段中的气体，使显影蚀刻处理段保持气压平衡；本发明专利技术有效避免压缩气体与蚀刻液混合后降低蚀刻液的温度，影响蚀刻质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于线路板显影蚀刻处理，具体涉及一种二流体显影蚀刻喷淋装置及方法。

技术介绍

1、随着现在电子行业的高速发展，电子集成元器件越来越细小、轻薄、精密，所以线路板的排布线路越来越细，传统显影/蚀刻装置只能满足45um/45um以上线宽/线距，45um以下线宽/线距需要使用到二流体精密显影/蚀刻装置。

2、在现有技术中，公告号为cn213876316u的技术公开了一种显影蚀刻喷淋装置，其主分类号为g03f7/30，该装置包括：二流体喷管组件和摇摆组件，所述二流体喷管组件固定在所述摇摆组件上，由所述摇摆组件带动摇摆，所述二流体喷管组件在待加工pcb板工件的上下或前后两侧排布。本申请技术方案，整个显影或蚀刻工序采用二流体喷淋的配置，通过压缩空气与药水液体快速混合产生高流速、高打击力、液滴微小的精细喷雾，进入到线路之间的狭槽及根部，能对线路根部进行蚀刻或显影，有效提升线路的蚀刻因子或精细线路的显影，并在水平传输方式时，可以在上板面配置吸刀装置，降低上板面水池效应的影响，提升线路均匀性及精细度，而且喷淋系统带有摇摆功能，可提升线路显影及蚀刻的均匀性本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种二流体显影蚀刻喷淋装置，包括输送机构（3）、一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段，所述一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段分别设置有一流体喷嘴（1）和二流体喷嘴（2），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种二流体显影蚀刻喷淋装置，其特征在于：所述冷凝回收机构还包括抽风管（7）和冷凝回流管（8），所述抽风冷凝器（6）具有抽气口和冷凝液流出口，所述抽风管（7）和冷凝回流管（8）分别与抽气口和冷凝液流出口相连，所述抽风冷凝器（6）通过抽风管（7）抽气，同时冷凝回收所抽气体中蚀刻液，并通过冷凝回流管（8）输送至蚀刻液存放区。

3.根据权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.一种二流体显影蚀刻喷淋装置，包括输送机构（3）、一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段，所述一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段分别设置有一流体喷嘴（1）和二流体喷嘴（2），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种二流体显影蚀刻喷淋装置，其特征在于：所述冷凝回收机构还包括抽风管（7）和冷凝回流管（8），所述抽风冷凝器（6）具有抽气口和冷凝液流出口，所述抽风管（7）和冷凝回流管（8）分别与抽气口和冷凝液流出口相连，所述抽风冷凝器（6）通过抽风管（7）抽气，同时冷凝回收所抽气体中蚀刻液，并通过冷凝回流管（8）输送至蚀刻液存放区。

3.根据权利要求1所述的一种二流体显影蚀刻喷淋装置，其特征在于：所述加热机构（19）包括加热模块、压缩气体通过模块、温度检测模块、蚀刻液温度反馈模块、气体流量监测模块、液体流量监测模块、温度设置模块、加热功率计算模块和加热功率调节模块，所述温度检测模块、蚀刻液温度反馈模块、气体流量监测模块、液体流量监测模块、温度设置模块和加热功率调节模块均与加热功率计算模块电性相连；

4.根据权利要求1所述的一种二流体显影蚀刻喷淋装置，其特征在于：所述一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段分别包括一流体显影蚀刻处理室（9）和二流体显影蚀刻处理室（10），所述一流体显影蚀刻处理室（9）和二流体显影蚀刻处理室（10）通过密封的输送通道（11）连通，所述输送机构（3）由一流体显影蚀刻处理室（9）、二流体显影蚀刻处理室（10）和输送通道（11）中通过；

5.根据权利要求4所述的一种二流体显影蚀刻喷淋装置，其特征在于：另外还包括第一射流吸引机构和第二射流吸引机构，所述第一射流吸引机构包括第一射流泵（...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱子敬，严根栓，杨尚楼，
申请(专利权)人：广州市巨龙印制板设备有限公司，
类型：发明
国别省市：