下载一种二流体显影蚀刻喷淋装置及方法的技术资料

文档序号:41400537

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本发明属于线路板显影蚀刻处理技术领域,公开了一种二流体显影蚀刻喷淋装置及方法,所述装置包括输送机构、一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段,一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段分别设置有一流体喷嘴和二流体喷嘴,还包括:加热机构,设...
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