【技术实现步骤摘要】
本技术涉及离子源光斑，尤其涉及一种快速切换离子源光斑的装置。
技术介绍
1、在离子束抛光过程中，大零件初始面形太大，此时选用大光斑的离子源加工，提高加工效率，当面型做到一定精度后，大栅网的光斑尺寸太大，不能再继续使用，需要更换更小的栅网，更小的光斑去除来继续加工；还有对于不同大小的零件的加工，可能也需要更换不同大小的栅网来加工。现有技术存在的问题是：更换栅网就需要放掉腔内的真空环境，更换栅网，再抽真空，需要耗费一定的时间。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在离子束抛光更换栅网耗费时间的缺点，而提出的一种快速切换离子源光斑的装置。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种快速切换离子源光斑的装置，包括连接架、两个与装置连接的连接法兰以及用于结构支撑防护的防护壳，所述防护壳的一侧延伸至连接架的内部，两个所述连接法兰分别固定连接于连接架的顶部和底部；
4、所述防护壳的顶部固定连接有用于动力驱动的驱动组件，所述驱动组件的底部贯穿至防护壳的内部，所述驱动组件的表面与防护壳的内部活动连接；
5、所述驱动组件的表面可拆卸连接有用于光阑支撑的放置组件，所述放置组件的数量为若干组，且均匀分布于驱动组件的表面；
6、所述放置组件靠近驱动组件的一侧设置有用于放置组件固定的固定结构，所述固定结构的底部与驱动组件的表面固定连接。
7、优选的，所述驱动组件包括用于动力传输的驱动电机，所述驱动电机的输出
8、优选的，所述放置组件包括用于光阑放置的放置架，所述放置架的一端贯穿至限位卡套的内部，所述放置架顶部和底部的一侧均固定连接有用于放置架限位的限位块，所述限位块的表面与限位卡套的内部配合使用，所述放置架的表面设置有第一固定框，所述第一固定框靠近放置架的一侧与放置架的表面固定连接，所述第一固定框的数量为四个，且环形分布于放置架的表面，所述第一固定框的内壁固定连接有导向杆，所述导向杆的另一端与放置架的表面固定连接，所述导向杆的表面活动连接有下压块，所述下压块表面与第一固定框的内壁活动连接，所述固定结构的底部与限位块的表面配合使用。
9、优选的，所述固定结构包括用于限位支撑的第二固定框，所述第二固定框的底部与限位卡套的顶部固定连接，所述第二固定框的内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆的底部活动连接有用于限位块锁定的锁定块，所述锁定块的表面与第二固定框的内壁活动连接，所述锁定块的底部与限位块的顶部配合使用。
10、优选的，所述固定轴表面的顶部和底部均固定连接有用于固定轴支撑的支撑轴承座，所述支撑轴承座靠近防护壳的一侧与防护壳的表面固定连接。
11、优选的，所述导向杆的表面套设有用于下压块复位的复位弹簧，所述复位弹簧靠近下压块的一侧与下压块的表面固定连接，所述复位弹簧远离下压块的一侧与第一固定框的内壁固定连接。
12、优选的，所述螺杆的顶部固定连接有用于螺杆转动的转动柄，所述螺杆表面的底部固定连接有用于转动的转动轴承座，所述转动轴承座的底部与锁定块的顶部固定连接，所述限位卡套的表面开设有用于限位块卡入的限位槽。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
14、1、本技术中，通过连接架、连接法兰、防护壳、驱动组件、放置组件和固定结构，能够通过驱动组件对放置组件进行转动，通过放置组件上放置多种光阑，固定结构对放置组件进行限位，使放置组件带动不同的光阑进行转动，通过此装置转动光阑，能在不放气，不需要更换栅网，就能够做到快速切换成所需要的光斑尺寸，节约了更换栅网及抽真空所需的时间，提高了离子束抛光机的使用率，解决现有技术中存在离子束抛光更换栅网耗费时间的问题。
15、本技术中，通过设置驱动组件，能够通过启动驱动电机，驱动电机带动第一齿轮转动，第一齿轮带动表面的传动皮带转动，传动皮带带动第二齿轮转动，第二齿轮带动固定轴转动，固定轴会带动表面的限位卡套转动，从而实现对表面的放置组件进行转动的目的，方便动力的输出。
16、本技术中，通过设置放置组件，能够通过移动放置架，放置架带动限位块卡入限位卡套的内部，同时通过移动下压块，下压块在导向杆表面活动，将光阑放置在放置架上，使下压块对光阑进行限位，当限位卡套转动时，限位卡套会带动限位块和放置架转动，通过转动不同光阑，达到调节光斑尺寸的目的。
17、本技术中，通过设置固定结构，能够通过转动螺杆，螺杆通过与第二固定框的配合，使螺杆带动锁定块进行移动，锁定块移动在限位块的表面，能够对限位块进行限位，锁定块脱离限位块的表面时，能够方便放置架的拆卸更换。
18、本技术中，通过设置支撑轴承座，能够增加固定轴转动的稳定性，减少固定轴的晃动，方便动力的传动。
19、本技术中，通过设置复位弹簧，能够当下压块移动时，下压块挤压复位弹簧，当松开下压块时，复位弹簧反弹下压块，使下压块卡在光阑的表面，达到稳定固定的目的。
20、本技术中，通过设置转动柄、转动轴承座和限位槽，能够通过转动转动柄，转动柄带动螺杆进行转动，方便动力的传动，转动轴承座能够方便螺杆带动锁定块进行移动，限位槽能够方便限位块卡入限位卡套的内部。
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1.一种快速切换离子源光斑的装置，包括连接架（1）、两个与装置连接的连接法兰（2）以及用于结构支撑防护的防护壳（3），其特征在于，所述防护壳（3）的一侧延伸至连接架（1）的内部，两个所述连接法兰（2）分别固定连接于连接架（1）的顶部和底部；
2.根据权利要求1所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述驱动组件包括用于动力传输的驱动电机（4），所述驱动电机（4）的输出端贯穿防护壳（3）并延伸至防护壳（3）的内部，所述驱动电机（4）的输出端固定连接有用于传动的第一齿轮（5），所述第一齿轮（5）的表面啮合有用于动力输送的传动皮带（6），所述传动皮带（6）内圈的左侧啮合有用于动力传动的第二齿轮（7），所述第二齿轮（7）的轴心处固定连接有固定轴（8），所述固定轴（8）的顶部和底部均与防护壳（3）的表面活动连接，所述固定轴（8）的表面固定连接有用于放置组件支撑限位的限位卡套（9），所述固定结构的底部与限位卡套（9）的顶部固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述放置组件包括用于光阑放置的放置架（10），所述放置架（10
4.根据权利要求3所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述固定结构包括用于限位支撑的第二固定框（15），所述第二固定框（15）的底部与限位卡套（9）的顶部固定连接，所述第二固定框（15）的内部螺纹连接有螺杆（16），所述螺杆（16）的底部活动连接有用于限位块（11）锁定的锁定块（17），所述锁定块（17）的表面与第二固定框（15）的内壁活动连接，所述锁定块（17）的底部与限位块（11）的顶部配合使用。
5.根据权利要求2所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述固定轴（8）表面的顶部和底部均固定连接有用于固定轴（8）支撑的支撑轴承座（18），所述支撑轴承座（18）靠近防护壳（3）的一侧与防护壳（3）的表面固定连接。
6.根据权利要求3所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述导向杆（13）的表面套设有用于下压块（14）复位的复位弹簧（19），所述复位弹簧（19）靠近下压块（14）的一侧与下压块（14）的表面固定连接，所述复位弹簧（19）远离下压块（14）的一侧与第一固定框（12）的内壁固定连接。
7.根据权利要求4所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述螺杆（16）的顶部固定连接有用于螺杆（16）转动的转动柄（20），所述螺杆（16）表面的底部固定连接有用于转动的转动轴承座（21），所述转动轴承座（21）的底部与锁定块（17）的顶部固定连接，所述限位卡套（9）的表面开设有用于限位块（11）卡入的限位槽（22）。
...【技术特征摘要】
1.一种快速切换离子源光斑的装置，包括连接架（1）、两个与装置连接的连接法兰（2）以及用于结构支撑防护的防护壳（3），其特征在于，所述防护壳（3）的一侧延伸至连接架（1）的内部，两个所述连接法兰（2）分别固定连接于连接架（1）的顶部和底部；
2.根据权利要求1所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述驱动组件包括用于动力传输的驱动电机（4），所述驱动电机（4）的输出端贯穿防护壳（3）并延伸至防护壳（3）的内部，所述驱动电机（4）的输出端固定连接有用于传动的第一齿轮（5），所述第一齿轮（5）的表面啮合有用于动力输送的传动皮带（6），所述传动皮带（6）内圈的左侧啮合有用于动力传动的第二齿轮（7），所述第二齿轮（7）的轴心处固定连接有固定轴（8），所述固定轴（8）的顶部和底部均与防护壳（3）的表面活动连接，所述固定轴（8）的表面固定连接有用于放置组件支撑限位的限位卡套（9），所述固定结构的底部与限位卡套（9）的顶部固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种快速切换离子源光斑的装置，其特征在于，所述放置组件包括用于光阑放置的放置架（10），所述放置架（10）的一端贯穿至限位卡套（9）的内部，所述放置架（10）顶部和底部的一侧均固定连接有用于放置架（10）限位的限位块（11），所述限位块（11）的表面与限位卡套（9）的内部配合使用，所述放置架（10）的表面设置有第一固定框（12），所述第一固定框（12）靠近放置架（10）的一侧与放置架（10）的表面固定连接，所述第一固定框（12）的数量为四个，且环形分布于放置架（10）的表面，所述第一固定框（12）的内壁固定连接有导向杆（13），所述导向杆（13）的另一端与放置架（10）的表面固定连接，...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄江波，李治鸽，崔战洛，汤渊博，
申请(专利权)人：洛阳瑄宇光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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