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本技术涉及一种快速切换离子源光斑的装置，针对现有的离子束抛光更换栅网耗费时间的问题，现提出如下方案，其包括连接架、两个与装置连接的连接法兰以及用于结构支撑防护的防护壳，所述防护壳的一侧延伸至连接架的内部，两个所述连接法兰分别固定连接于连接架...
该专利属于洛阳瑄宇光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳瑄宇光电科技有限公司授权不得商用。

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