高真空阀制造技术

本发明专利技术提供一种高真空阀，其包括：阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座。其中，在贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述润滑脂槽的流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在所述润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成轴封，使所述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种高真空阀，其轴封采用带润滑脂槽的滑动密封结构。
技术介绍
对于现有技术的高真空阀其用于驱动开闭件使阀开闭的推杆处的轴封若采用带 润滑脂槽的滑动密封结构时，由于在流路中流动的气体中有时会混入溶剂等，混入的溶剂 等如果进入轴封，用来保护真空密封用密封部件的润滑脂有可能因此产生溶解析出、流失 或劣化等问题。具体地讲，当上述溶剂等进入上述推杆表面上的细微的凹凸处时，其有可能 会从真空侧进入润滑脂槽，越过润滑脂槽而到达真空密封用密封部件处，使该密封部件劣 化。此外，由于高真空阀的流路处于真空环境中，而上述润滑脂有可能蒸发或流失到流路的 真空环境中，这会导致真空密封用垫圈由于缺少润滑脂而早期磨损并发生漏油(leak)等 问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高真空阀，其中，驱动开闭件使阀开闭的推杆处的轴 封采用带润滑脂槽的滑动密封结构，该高真空阀可轴封防止该轴封发生缺少润滑脂的情 况，实现延长该轴封的寿命的目的。 更具体地讲，本专利技术的目的是提供一种高真空阀，采取简单的结构就能有效地遏制润滑脂从上述轴封蒸发、溶解析出或流失到处于真空环境中的流路内。 为了实现上述目本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高真空阀，包括：阀体部和阀驱动部，在所述阀体部中设置有阀座，该阀座位于形成在第一阀口和第二阀口之间的流路中，所述阀体部中还设置有开闭件，通过所述开闭件与所述阀座的接合或分离，以此来开闭所述流路；所述阀驱动部用于驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座，由驱动机构驱动的推杆贯穿所述阀体部中面向阀座的流路壁，插入所述流路中，所述推杆与所述流路壁之间保持密封状态，其特征在于：　　在所述阀体部的流路壁上供所述推杆贯通的贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的所述流路一侧设置有用来保持润滑脂的密封部件，而在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的另一侧设置有用来真空密封的密封部件，由此在所述贯通孔中形...

【技术特征摘要】
JP 2008-10-3 2008-258838一种高真空阀，包括阀体部和阀驱动部，在所述阀体部中设置有阀座，该阀座位于形成在第一阀口和第二阀口之间的流路中，所述阀体部中还设置有开闭件，通过所述开闭件与所述阀座的接合或分离，以此来开闭所述流路；所述阀驱动部用于驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座，由驱动机构驱动的推杆贯穿所述阀体部中面向阀座的流路壁，插入所述流路中，所述推杆与所述流路壁之间保持密封状态，其特征在于在所述阀体部的流路壁上供所述推杆贯通的贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的所述流路一侧设置有用来保持润滑脂的密封部件，而在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的另一侧设置有用来真空密封的密封部件，由此在所述贯通孔中形成轴封，所述润滑脂槽的轴向长度与所述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。2. 根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：樱井丰信，神坂育男，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]