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本发明提供一种高真空阀，其包括：阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件...
该专利属于ＳＭＣ株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ＳＭＣ株式会社授权不得商用。

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