【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电子，特别涉及一种具有补液结构的声学液滴喷射方法、装置及其制造方法。
技术介绍
1、传统的液滴生成技术主要包括微流控技术、光学聚焦喷射技术和挤压法。微流控技术采用被动式结构，生成的液滴直径不可控；光学聚焦喷射技术由于能量高，对于液滴的生成有很大的损伤，尤其是在生物应用中损伤较大；挤压法是目前喷墨打印的主要应用技术，包括热发泡法和压电法。
2、热发泡法主要通过加热部件瞬间产生高温激发并产生气泡，气泡在膨胀过程中挤压液体形成液滴，因此有较高的能量密度，喷射效率高，此外发热器件的控制和小型化较为方便。但是，热发泡法在工作中产生的较高温度，会导致液体的快速蒸发，并且对于液滴的直径无法调控。压电法利用压电陶瓷等压电材料驱动变形，进而挤压液体喷出腔体而形成液滴，同样面临着液滴直径不可控的问题。
3、另一方面，基于声波的液滴喷射技术由于具有生物兼容好，无喷嘴结构而被广泛应用。目前已经提出基于声表面波的液滴喷射装置，由于声表面波沿着物体表面传播，导致该结构在与液体无接触的情况下完成喷射。
4、但是，专利技术...
【技术保护点】
1.一种具有补液结构的声学液滴喷射装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述液体腔对应于所述振动区域的位置处具有喷嘴。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述喷嘴的形状呈圆形或椭圆形或多边形。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，从垂直于所述衬底的方向观察，所述喷嘴和所述振动区域至少部分重合。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述腔室在垂直于所述衬底的方向上的高度为1微米至300微米。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：p>
7.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种具有补液结构的声学液滴喷射装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述液体腔对应于所述振动区域的位置处具有喷嘴。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述喷嘴的形状呈圆形或椭圆形或多边形。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，从垂直于所述衬底的方向观察，所述喷嘴和所述振动区域至少部分重合。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述腔室在垂直于所述衬底的方向上的高度为1微米至300微米。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述声反射层包括布拉层结构和/或空气腔结构。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述第一电极通过第一接口部与所述集成电路的第一导电部连接；所述第二电极通过第二接口部与所述集成电路的第二导电部连接。
10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述衬底上包括一个或多个所述体声波驱动器。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，多个体声波驱动器分别位于所述衬底的上侧，并且相邻的两个体声波驱动器之间间隔预定距离。
12.根据权利要求1至11任一项所述的装置，其特征在于，所述声波传输到液体层时推动液体并产生衰减，所述衰减引起体积力并使得所述液体突破表面张力而形成所述液滴。
13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述液滴通过所述液体腔中对应于所述振动区域的位置处的喷嘴被喷射出来。
14.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，通过所述声学液滴喷射装置...
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