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本申请实施例提供一种具有补液结构的声学液滴喷射方法、装置及其制造方法。所述装置包括：所述装置包括：衬底，体声波驱动器以及液体腔；所述液体腔内具有能够容纳液体层的腔室以及能够对所述液体层进行补液的补液通道。由此，通过补液通道，即使在高通量的喷...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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