【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及纳米角分辨光电子能谱实验设备，特别是涉及一种纳米角分辨光电子能谱实验装置及实验方法。
技术介绍
1、纳米角分辨光电子能谱设备的光斑仅为常规角分辨光电子能谱设备的1/100。如此小的光斑对于设备的稳定性提出了更高的要求。其次，角分辨光电子能谱实验中需要改变样品与能量分析器之间的角度。传统的角分辨光电子能谱利用多维度样品操纵台实现样品的位置改变，能量分析器的位置不动。而在纳米角分辨光电子能谱设备中，由于光斑和有效的研究区域都非常小，传统的多维度样品操纵台很小的移动就将导致样品在转动中丢失研究区域。因此，需要设计一种在光电子能谱实验中通过改变能量分析器的位置从而改变样品与能量分析器之间的角度的装置，满足纳米角分辨光电子能谱实验中多角度分析测量的需求。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术要解决的技术问题在于提供一种纳米角分辨光电子能谱实验装置及实验方法，通过能量分析器的转动改变样品与能量分析器之间的角度，克服现有技术中改变样品的角度导致样品很容易在转动中丢失研究
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【技术保护点】
1.一种纳米角分辨光电子能谱实验装置，其特征在于：包括驱动组件(13)、回转支撑轴承(10)、支架架体(8)、样品操纵台(17)、主分析腔(1)、以及能量分析器(2)，所述驱动组件(13)与回转支撑轴承(10)传动连接，所述支架架体(8)与回转支撑轴承(10)固定连接，所述能量分析器(2)、主分析腔(1)均设置在支架架体(8)上、且能量分析器(2)与主分析腔(1)连通；所述样品操纵台(17)设置在回转支撑轴承(10)中心的地面(11)上，所述样品操纵台(17)的外周还设置有差分真空转盘(1602)，所述主分析腔(1)的底端与差分真空转盘(1602)的顶端固定连接、且样...
【技术特征摘要】
1.一种纳米角分辨光电子能谱实验装置，其特征在于：包括驱动组件(13)、回转支撑轴承(10)、支架架体(8)、样品操纵台(17)、主分析腔(1)、以及能量分析器(2)，所述驱动组件(13)与回转支撑轴承(10)传动连接，所述支架架体(8)与回转支撑轴承(10)固定连接，所述能量分析器(2)、主分析腔(1)均设置在支架架体(8)上、且能量分析器(2)与主分析腔(1)连通；所述样品操纵台(17)设置在回转支撑轴承(10)中心的地面(11)上，所述样品操纵台(17)的外周还设置有差分真空转盘(1602)，所述主分析腔(1)的底端与差分真空转盘(1602)的顶端固定连接、且样品操纵台(17)处于主分析腔(1)内；所述主分析腔(1)内处于真空环境；所述样品操纵台(17)用于放置样品、且调整样品与光路配合；所述能量分析器(2)对样品激发的光电子分析。
2.根据权利要求1所述的纳米角分辨光电子能谱实验装置，其特征在于：还包括回转支撑安装环(12)，所述回转支撑安装环(12)固定在地面(11)上，所述回转支撑轴承(10)的外圈(1001)安装在回转支撑安装环(12)上，所述驱动组件(13)与回转支撑轴承(10)的内圈(1002)之间还设置有变速箱(1301)，所述驱动组件(13)通过变速箱(1301)带动回转支撑轴承(10)的内圈(1002)转动，所述支架架体(8)与回转支撑轴承(10)的内圈(1002)侧面固定连接。
3.根据权利要求1所述的纳米角分辨光电子能谱实验装置，其特征在于：还包括回转支撑轴承限位组件，所述回转支撑轴承限位组件包括软限位组件和硬限位组件，所述软限位组件包括光栅尺、以及光栅尺读取头(1503)，所述光栅尺与光栅尺读取头(1503)分别设置在回转支撑轴承(10)的内圈(1002)内壁、及回转支撑轴承(10)的内圈(1002)内侧，所述光栅尺与光栅尺读取头(1503)通讯连接；所述硬限位组件包括挡块(1502)、以及阻挡架(1501)，所述挡块(1502)与阻挡架(1501)分别设置在回转支撑轴承(10)的内圈(1002)内壁、及回转支撑轴承(10)的内圈(1002)内侧，所述阻挡架(1501)对挡块(1502)进行阻挡限位。
4.根据权利要求1所述的纳米角分辨光电子能谱实验装置，其特征在于：还包括真空泵集成腔(7)，所真空泵集成腔(7)固定在支架架体(8)上、且与主分析腔(1)连通，用于保证主分析腔(1)内处于真空环境。
5.根据权利要求1所述的纳米角分辨光电子能谱实验装置，其特征在于：还包括样品运输组件，所述样品运输组...
【专利技术属性】
技术研发人员：王美晓，刘鹏，柳仲楷，王峰，刘芳，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：
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