一种CMP抛光机台上的磨液配液机构制造技术

本技术提供一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，包括底板和安装在底板上方的电控装置和配液装置；电控装置与配液装置通过电信号连接；配液装置包括配液箱组件和至少两组配液管道组件；配液箱组件包括外桶、内桶、冷却盘管和液位传感器；外桶固定在底板上；内桶固定在外桶内侧；冷却盘管安装在外桶与内桶之间；冷却盘管的冷却进液口与冷却出液口分别从外桶的一侧伸出；内桶的上端设有盖板；液位传感器安装在盖板上；盖板上还安装有磨液输入管道接口、磨液输出管道接口和配比液管道接口；配液管道组件包括蠕动泵、配液管和流量计；本设计可自行设定比例自动配液混合，效率高，精准，而且带有冷却盘管可对循环使用的磨液进行冷却至使用要求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及抛光机配液装置，特别涉及一种cmp抛光机台上的磨液配液机构。

技术介绍

1、目前的cmp抛光机台上，产品的研磨需要借助研磨液来促进工件的研磨效果，而研磨液需要人工进行配比，人工配液效率低下，而且配置比例调节不够精确；另外研磨在使用后，还需回收循环使用，而回收后的研磨液温度较高，因此还需对其进行冷却，目前还没有一套装置来实现自动配液与循环使用的功能。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种cmp抛光机台上的研磨配液装置以解决
技术介绍
中提及问题。

2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种cmp抛光机台上的磨液配液机构，包括底板和安装在底板上方的电控装置和配液装置；所述电控装置与配液装置通过电信号连接；所述配液装置包括配液箱组件和至少两组配液管道组件；所述配液箱组件包括外桶、内桶、冷却盘管和液位传感器；所述外桶固定在底板上；所述内桶固定在外桶内侧；所述冷却盘管安装在外桶与内桶之间；所述冷却盘管的冷却进液口与冷却出液口分别从外桶的一侧伸出；所述内桶的上端设有盖板；所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：包括底板和安装在底板上方的电控装置和配液装置；所述电控装置与配液装置通过电信号连接；所述配液装置包括配液箱组件和至少两组配液管道组件；所述配液箱组件包括外桶、内桶、冷却盘管和液位传感器；所述外桶固定在底板上；所述内桶固定在外桶内侧；所述冷却盘管安装在外桶与内桶之间；所述冷却盘管的冷却进液口与冷却出液口分别从外桶的一侧伸出；所述内桶的上端设有盖板；所述液位传感器安装在盖板上；所述盖板上还安装有磨液输入管道接口、磨液输出管道接口和配比液管道接口；所述配液管道组件包括蠕动泵、配液管和流量计；所述配液管的配液输出口与配比液管道接口连接；所述蠕动...

【技术特征摘要】

1.一种cmp抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：包括底板和安装在底板上方的电控装置和配液装置；所述电控装置与配液装置通过电信号连接；所述配液装置包括配液箱组件和至少两组配液管道组件；所述配液箱组件包括外桶、内桶、冷却盘管和液位传感器；所述外桶固定在底板上；所述内桶固定在外桶内侧；所述冷却盘管安装在外桶与内桶之间；所述冷却盘管的冷却进液口与冷却出液口分别从外桶的一侧伸出；所述内桶的上端设有盖板；所述液位传感器安装在盖板上；所述盖板上还安装有磨液输入管道接口、磨液输出管道接口和配比液管道接口；所述配液管道组件包括蠕动泵、配液管和流量计；所述配液管的配液输出口与配比液管道接口连接；所述蠕动泵通过支架安装在底板上且与配液管连接；所述流量计安装在配液管一侧且位于蠕动泵与配液输出口之间。

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【专利技术属性】
技术研发人员：洪志清，李健飞，
申请(专利权)人：东莞金研精密研磨机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：