【技术实现步骤摘要】
本技术涉及线路板以及光伏硅片，尤其涉及一种双层循环阳极电镀装置。
技术介绍
1、常规的电镀槽通常将阳极垂直设置于电镀槽中，目的是使阳极所产生的氧气从阳极的上方进入到空气中，不会进入电镀槽内将电镀槽内药水中的光剂分解。但是这种方式，阳极的下部还是浸泡于药水中，阳极的下部与药水接触产生的氧气一旦不能及时排出，还是会分解药水中的光剂，导致电镀效果不好。
2、故丞需要一种电镀效果佳，并且阳极产生的氧气不会接触到电镀槽内药水的装置。
技术实现思路
1、针对上述不足，本技术的目的在于提供一种双层循环阳极电镀装置，通过在电镀槽内分别设置上下阳极，从而可同时对多晶硅片的上下表层电镀，提高电镀效率，上下阳极的外部均包裹有盒子，下阳极连接有释氧槽，从而有效将下阳极与电镀槽内药水产生的氧气排出，不会分解药水中的光剂，进一步保证电镀的正常进行，提高电镀效率。
2、本技术为达到上述目的所采用的技术方案是：
3、一种双层循环阳极电镀装置，包括架设于平面上的至少一药水主槽组件、连接于...
【技术保护点】
1.一种双层循环阳极电镀装置，其特征在于：包括架设于平面上的至少一药水主槽组件、连接于所述药水主槽组件的一电镀槽、依次排列设置于所述电镀槽内的数个阳极组件、设置于所述电镀槽一侧且与所述阳极组件相连接的一释氧槽组件；所述阳极组件包括设置于所述电镀槽内的一下阳极、设置于所述电镀槽内且正位于下阳极上方的一上阳极。
2.根据权利要求1所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述下阳极包括一下离子膜压板、设置于下离子膜压板下方的一下离子膜网板、设置于所述下离子膜压板与下离子膜网板之间的一下离子膜、分别设置于所述下离子膜网板两端下方的一下阳极板后导条、分别设置于所述下...
【技术特征摘要】
1.一种双层循环阳极电镀装置，其特征在于：包括架设于平面上的至少一药水主槽组件、连接于所述药水主槽组件的一电镀槽、依次排列设置于所述电镀槽内的数个阳极组件、设置于所述电镀槽一侧且与所述阳极组件相连接的一释氧槽组件；所述阳极组件包括设置于所述电镀槽内的一下阳极、设置于所述电镀槽内且正位于下阳极上方的一上阳极。
2.根据权利要求1所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述下阳极包括一下离子膜压板、设置于下离子膜压板下方的一下离子膜网板、设置于所述下离子膜压板与下离子膜网板之间的一下离子膜、分别设置于所述下离子膜网板两端下方的一下阳极板后导条、分别设置于所述下离子膜网板两侧且与所述下阳极板后导条对应连接的一下阳极板侧导条、内嵌入所述下阳极板侧导条以及下阳极板后导条中部的一下阳极板、以及设置于所述下阳极板侧导条以及下阳极板后导条下方的一下阳极盒封板；所述释氧槽组件连接于任意一个下阳极板后导条侧边上。
3.根据权利要求2所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述下离子膜压板以及下离子膜网板上均排列开设有数个下电镀孔。
4.根据权利要求2所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述下阳极盒封板下端面上还设置有贯穿电镀槽且向下延伸的一下透气管，所述下透气管上均匀排列开设有数个下透气孔。
【专利技术属性】
技术研发人员：杨毅，林琼辉，李冠章，
申请(专利权)人：东莞市优唯智能设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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