一种具有高低温切换功能的温控系统技术方案

本发明专利技术涉及温控系统技术领域，解决了目前半导体生产用温控装置无法兼顾高温和低温工艺要求的技术问题，尤其涉及一种具有高低温切换功能的温控系统，该温控系统包括用于产生高温循环液的高温温控系统，用于产生低温循环液的低温温控系统，以及负载装置，所述高温温控系统和低温温控系统分别通过第一循环回路和第二循环回路与负载装置构成高、低温温控循环回路。本发明专利技术能够同时满足制造工艺对高温以及低温的需要，而且由于只需一个半导体用温控装置完成不同温度要求，避免了设备运行的冲突问题，操作更加方便灵活。对于温度的不同需求，无需根据不同需求使用多个单一的温控设备，兼顾了高温和低温的要求，节省了空间和成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及温控系统，尤其涉及一种具有高低温切换功能的温控系统。

技术介绍

1、温控装置是一种能够监测和控制温度的设备，目前广泛应用于各种工业生产和科学研究领域。采用精密的温控系统，同时结合了温度传感器、调节回路等部件，能够实现对系统温度的精确控制。

2、半导体生产用温控装置大部分使用的工况都是比较稳定的状态，在需要满足温度差异很大的场合，此时需要购置多种温度控制设备，就会出现设备数量过多的问题，从而导致在半导体生产中无法兼顾高温和低温的工艺要求，并且多种温度控制设备在操作时易出现运行冲突的问题，同时还限定了对于安装空间的需求以及设备成本的增加。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种具有高低温切换功能的温控系统，解决了目前半导体生产用温控装置无法兼顾高温和低温工艺要求的技术问题。

2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了如下技术方案：一种具有高低温切换功能的温控系统，该温控系统包括用于产生高温循环液的高温温控系统，用于产生低温循环液的低温温控系统，以及负载装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有高低温切换功能的温控系统，该温控系统包括用于产生高温循环液的高温温控系统(500)，用于产生低温循环液的低温温控系统(600)，以及负载装置(400)，其特征在于，所述高温温控系统(500)和低温温控系统(600)分别通过第一循环回路(200)和第二循环回路(300)与负载装置(400)构成高、低温温控循环回路。

2.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于，所述第一循环回路(200)包括与高温温控系统(500)出液端相连通的第一高温手动球阀(210)，在第一高温手动球阀(210)的出液端依次通过第一高温电磁换向球阀(220)、第一单向阀(230)与负载装置(40...

【技术特征摘要】

1.一种具有高低温切换功能的温控系统，该温控系统包括用于产生高温循环液的高温温控系统(500)，用于产生低温循环液的低温温控系统(600)，以及负载装置(400)，其特征在于，所述高温温控系统(500)和低温温控系统(600)分别通过第一循环回路(200)和第二循环回路(300)与负载装置(400)构成高、低温温控循环回路。

2.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于，所述第一循环回路(200)包括与高温温控系统(500)出液端相连通的第一高温手动球阀(210)，在第一高温手动球阀(210)的出液端依次通过第一高温电磁换向球阀(220)、第一单向阀(230)与负载装置(400)的进液端连通，所述负载装置的(400)的出液端依次通过第二高温电磁换向阀(240)、第二单向阀(250)、第二高温手动球阀(260)和第一回液过滤器(27)与高温温控系统(500)的回液端构成高温温控循环回路。

3.根据权利要求2所述的温控系统，其特征在于，所述在第一高温手动球阀(210)与第一高温电磁换向球阀(220)之间还设置有用于精准控制高温温控循环回路中高温循环液流量的高温旁通回路(280)，所述高温旁通回路(280)的另一端连通在第二单向阀(250)和第二高温手动球阀(260)之间。

4.根据权利要求3所述的温控系统，其特征在于，所述高温旁通回路(280)包括与第一循环回路(200)连通的第三高温手动球阀(281)，以及依次连通的高温电磁比例阀(282)和第三单向阀(283)，所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯雄涛，金鑫，顾佳星，
申请(专利权)人：合肥亦威科技有限公司，
类型：发明
国别省市：