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本发明涉及温控系统技术领域，解决了目前半导体生产用温控装置无法兼顾高温和低温工艺要求的技术问题，尤其涉及一种具有高低温切换功能的温控系统，该温控系统包括用于产生高温循环液的高温温控系统，用于产生低温循环液的低温温控系统，以及负载装置，所述高...
该专利属于合肥亦威科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥亦威科技有限公司授权不得商用。

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