一种锗晶片去胶清洗装置制造方法及图纸

技术编号:41342653 阅读:17 留言:0更新日期:2024-05-20 09:59
本技术公开了一种锗晶片去胶清洗装置,包括装置箱,所述装置箱的顶端固定有安装罩。该锗晶片去胶清洗装置使用时,将晶片工件放置在操作台的顶端,接着控制第二气缸启动,三组弧形夹板同时向内移动,将晶片固定在操作台顶端,控制驱动电机启动利用啮合的驱动齿轮和齿圈带动海绵盘转动,同时控制水泵启动,将装置箱内部的清洗剂抽出并利用出液管输送至集水管内部,再由集水管内侧的喷洒头喷出在锗晶片上,之后控制第一气缸启动输出端向下伸出,并带动海绵盘下移至晶片工件的顶端,转动的海绵盘配合清洗剂使用对晶片上的胶进行湿洗去胶,不容易存在残留胶,解决的是不便于对锗晶片外部进行去胶清洗操作的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶片加工,具体为一种锗晶片去胶清洗装置


技术介绍

1、锗是重要的半导体材料,在半导体、航空航天测控、核物理探测、光纤通讯、红外光学、太阳能电池等领域都有广泛而重要的应用。锗晶片由锗单晶精密加工而成,在切片加工时晶片外部会残留胶,在对锗晶片外部的胶进行处理时,需要使用到锗晶片去胶清洗装置利用清洗剂来对锗晶片外部进行清洗加工处理。

2、但锗晶片去胶清洗装置在实际使用的过程中,在对锗晶片外部进行去胶清洗时,一般使用清洗剂直接简单的对锗晶片外部进行手工冲洗清洗操作,清洗时难以将锗晶片外部的胶进行充分去除,从而影响晶片产品质量合格率。

3、现在,提出一种新型的锗晶片去胶清洗装置来解决上述的不足。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种锗晶片去胶清洗装置,以解决上述
技术介绍
中提出的不便于对锗晶片外部进行去胶清洗操作的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种锗晶片去胶清洗装置,包括装置箱,所述装置箱的顶端固定有安装罩,且安装罩内部的底端固定有固定架,所述固本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种锗晶片去胶清洗装置,包括装置箱(1),其特征在于:所述装置箱(1)的顶端固定有安装罩(3),且安装罩(3)内部的底端固定有固定架(2),所述固定架(2)的中间位置处固定有操作台(10),且操作台(10)顶部的两侧和后端分别设置有弧形夹板(15),所述操作台(10)顶端的两侧和后端的内部分别设置有内腔(9),且内腔(9)的内部设置有推板(4),所述操作台(10)顶部的两侧和后端分别贯穿设置有滑槽(16),所述推板(4)的顶端贯穿滑槽(16)的内部并与弧形夹板(15)的底端固定连接,所述操作台(10)的两侧和后端分别固定有第二气缸(11),且第二气缸(11)的输出轴贯穿操作台(10)...

【技术特征摘要】

1.一种锗晶片去胶清洗装置,包括装置箱(1),其特征在于:所述装置箱(1)的顶端固定有安装罩(3),且安装罩(3)内部的底端固定有固定架(2),所述固定架(2)的中间位置处固定有操作台(10),且操作台(10)顶部的两侧和后端分别设置有弧形夹板(15),所述操作台(10)顶端的两侧和后端的内部分别设置有内腔(9),且内腔(9)的内部设置有推板(4),所述操作台(10)顶部的两侧和后端分别贯穿设置有滑槽(16),所述推板(4)的顶端贯穿滑槽(16)的内部并与弧形夹板(15)的底端固定连接,所述操作台(10)的两侧和后端分别固定有第二气缸(11),且第二气缸(11)的输出轴贯穿操作台(10)的内部并与推板(4)的一侧固定连接;

2.根据权利要求1所述的一种锗晶片去胶清洗装置,其特征在于:所述第一气缸(6)的底部输出端贯穿安装罩(3)顶端的内部并与安装架(7)的顶端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种锗晶片去胶清洗装置,其特征在于:所述驱动齿轮(18)的右侧贯穿安装架(7)左侧的内部,所述驱动齿轮(18)与齿圈(19)之间啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种锗晶片去胶清洗装置,其特征在于:所述安装罩...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴彤刘新军沈思宇刘欣赵阿波朱雪锋顾佳玉张倩沙海涛陆逸婷周全法
申请(专利权)人:江苏宁达环保股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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