超纯水中的离子成分的分析方法和装置制造方法及图纸

一种纯水中的离子成分的分析方法，其对试样超纯水进行浓缩并通过分析机构进行分析，其特征在于，通过电透析装置对试样超纯水进行浓缩。电透析装置是第二电透析装置(20)，向第一生成室(27)通入试样超纯水，向第二生成室(28)通入高纯度硝酸水溶液，自第二生成室(28)取出分析用浓缩水。通入至第二生成室(28)的高纯度硝酸水溶液是利用第一电透析装置(10)对硝酸钾水溶液进行透析处理而生成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种对超纯水中的离子成分进行分析的方法和装置。

技术介绍

1、超纯水中的微量溶存离子的分析大多使用蒸发浓缩法。例如，金属阳离子是通过石英制旋转蒸发器将超纯水浓缩，通过电加热式原子吸光光度计、电感耦合等离子质量分析计被检测出来(日本工业标准(japanese industrial standards，jis)k0553)。但是，该方法存在由利用人手进行繁杂的操作导致的污染、或蒸发时金属阳离子随着溶剂的气化一起飞散等风险。

2、在专利文献1中记载有如下方法：将试样超纯水喷雾至清洁空气中，通过清洁热空气使产生的液滴蒸发，利用膜滤器捕集包含蒸发残渣的干燥粒子，进行分光分析。

3、在专利文献2中记载有如下方法：将超纯水通入至具有离子交换基的多孔质膜，通过表面分析装置对被多孔质膜捕捉的杂质进行分析。

4、在专利文献3的实施例中记载有如下方法：将超纯水通入至离子吸附膜吸附超纯水中的金属后，利用硝酸进行洗脱，对洗脱液进行电感耦合等离子质谱法(inductivelycoupled plasma mass spectromet本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超纯水中的离子成分的分析方法，其对试样超纯水进行浓缩并通过分析机构进行分析，其特征在于，

2.如权利要求1所述的超纯水中的离子成分的分析方法，其中，

3.如权利要求2所述的超纯水中的离子成分的分析方法，其中，

4.如权利要求3所述的超纯水中的离子成分的分析方法，其中，

5.如权利要求3或4所述的超纯水中的离子成分的分析方法，其中，

6.一种超纯水中的离子成分的分析装置，其中，

7.如权利要求6所述的超纯水中的离子成分的分析装置，其中，

8.如权利要求7所述的超纯水中的离子成分的分析装置，其中，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种超纯水中的离子成分的分析方法，其对试样超纯水进行浓缩并通过分析机构进行分析，其特征在于，

2.如权利要求1所述的超纯水中的离子成分的分析方法，其中，

3.如权利要求2所述的超纯水中的离子成分的分析方法，其中，

4.如权利要求3所述的超纯水中的离子成分的分析方法，其中，

5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：星重行，加藤俊正，福井长雄，大平慎一，户田敬，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：发明
国别省市：