一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法，包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块；泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面；探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑，经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收；接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理；光谱共焦位移传感器返回实时位置，通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件，三轴位移台调整扫描对焦位置，扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明专利技术，可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学，尤其是涉及一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法。

技术介绍

1、清洁能源、军事装备以及空间探测等高精尖领域愈发依赖高精密光学系统，对大口径高精度光学元件的质量与稳定性要求也愈发严苛。光学元件吸收存在的问题会导致元件表面热变形和折射率分布变化。这不仅会影响出射激光的光束质量，还会导致激光在元件内部产生热沉积。特别是在高能激光系统中，即使微弱的吸收也可能引起光学元件的损坏。而随着现代激光技术的快速发展，对低吸收损耗的光学元件在各个领域都有了更高的需求。因此，对大口径光学元件的吸收进行准确检测具有重要意义。

2、光热弱吸收检测技术是基于激光与物质的相互作用，当一束高能量泵浦光照射在光学元件表面时，其吸收激光能量导致局部加热，元件表面会产生热变形，同时折射率分布也会发生变化。另一束低功率探测光照射到泵浦光加热区域，探测光经过反射或透射后进入光电探测器进行检测，得到变化的相关参数，理论推导得到相关参数与吸收之间的关系，即可得到光学元件的吸收参数。其中，表面热透镜技术通过测量泵浦光引起的波前畸变，从而转化成光学元件的微弱吸收。...

【技术保护点】

1.一种大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块；

2.根据权利要求1所述的大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，三台光谱共焦位移传感器呈三角形安装在光学平台上。

3.根据权利要求1所述的大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，三台光谱共焦位移传感器呈等腰三角形安装在光学平台上；

4.根据权利要求1所述的大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，泵浦激光光源(1)照射在待测光学元件(10)表面的聚焦光斑位置与探测激光光源(4)照射在待测光学元件(10)表面的探测光斑位置同心，且工作距在三个光谱共焦位移...

【技术特征摘要】

1.一种大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块；

2.根据权利要求1所述的大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，三台光谱共焦位移传感器呈三角形安装在光学平台上。

3.根据权利要求1所述的大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，三台光谱共焦位移传感器呈等腰三角形安装在光学平台上；

4.根据权利要求1所述的大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，泵浦激光光源(1)照射在待测光学元件(10)表面的聚焦光斑位置与探测激光光源(4)照射在待测光学元件(10)表面的探测光斑...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘东，张峰玮，王劭文，郭世维，王狮凌，王旭龙琦，金秉文，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：