【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于插板阀，尤其涉及一种全自动插板阀门系统。
技术介绍
1、在cvd、etch、diff、t/f等power较多工艺的部门，常因pump不预期停机，导致气体回灌，腔体污染，从而导致不良品的发生，同时还要对已污染腔体进行清洁保养，严重影响生产计划。采用常规的插板阀进行气体输送时，阀门打开后气体流向会因驱动腔与输送腔体管道连通而改变，粉尘同时会进入驱动腔损坏驱动部件，导致阀门损坏，影响正常输送作业。
技术实现思路
1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种全自动插板阀门系统，通过在入口法兰与出口法兰之间加装可移动的封闭腔体活塞，能够在开阀时形成隔绝驱动腔的直通型阀腔输送通道，保证气体流向正常及阀门部件的安全性。
2、技术方案：为实现上述目的，本专利技术的一种全自动插板阀门系统，包括相盖合的阀体与阀盖，阀盖侧设置有入口法兰，阀体侧设置有出口法兰，入口法兰与出口法兰之间设置有筏板，筏板能出、入入口法兰与出口法兰之间的连通间距执行开、关阀动作；
<...【技术保护点】
1.一种全自动插板阀门系统，包括相盖合的阀体(1)与阀盖(2)，阀盖(2)侧设置有入口法兰(3)，阀体(1)侧设置有出口法兰(4)，入口法兰(3)与出口法兰(4)之间设置有筏板(5)，筏板(5)能出、入入口法兰(3)与出口法兰(4)之间的连通间距执行开、关阀动作；
2.根据权利要求1所述的一种全自动插板阀门系统，其特征在于：所述封闭腔体活塞(6)的输出端具有伸入延伸结构(60)，所述伸入延伸结构(60)伸入出口法兰(4)的输入端，使所述封闭腔体活塞(6)与出口法兰(4)保持连通。
3.根据权利要求1所述的一种全自动插板阀门系统，其特征在于：所述...
【技术特征摘要】
1.一种全自动插板阀门系统，包括相盖合的阀体(1)与阀盖(2)，阀盖(2)侧设置有入口法兰(3)，阀体(1)侧设置有出口法兰(4)，入口法兰(3)与出口法兰(4)之间设置有筏板(5)，筏板(5)能出、入入口法兰(3)与出口法兰(4)之间的连通间距执行开、关阀动作；
2.根据权利要求1所述的一种全自动插板阀门系统，其特征在于：所述封闭腔体活塞(6)的输出端具有伸入延伸结构(60)，所述伸入延伸结构(60)伸入出口法兰(4)的输入端，使所述封闭腔体活塞(6)与出口法兰(4)保持连通。
3.根据权利要求1所述的一种全自动插板阀门系统，其特征在于：所述封闭腔体活塞(6)具有轴向限位挡圈(50)，所述轴向限位挡圈(50)连接于阀体(1)与阀盖(2)之间；所述阀体(1)与封闭腔体活塞(6)之间、阀体(1)与轴向限位挡圈(50)之间、轴向限位挡圈(50)与封闭腔体活塞(6)之间、以及轴向限位挡圈(50)与出口法兰(4)之间均设置有密封部件。
4.根据权利要求1所述的一种全自动插板阀门系统，其特征在于：所述阀体(1)上开设有导通压强可变腔(7)的气孔(70)，所述压强可变腔(7)通过所述气孔(70)进气与出气而改变压强实现所述封闭腔体活塞(6)的轴移动作。
5.根据权利要求4所述的一种全自动插板阀门系统，其特征在于：包括与所述筏板(5)对应的阀驱动部机构(8)，所述筏板(5)通过阀驱动部机构(8)提供驱动力出、入入口法兰(3)与出口法兰(4)之间的所述连通间距。
6.根据权利要求5所述的一种全自动插板阀门系统，其特征在于：所述阀驱动部机...
【专利技术属性】
技术研发人员：李贤镇，梁仁模，鞠浩，
申请(专利权)人：无锡凯必特斯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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