【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及阀门，特别是一种双重保护的防倒灌控制阀。
技术介绍
1、在半导体工厂中，较多部门的生产均运用有干泵，并在干泵与腔体之间设置有插板阀，通常按照干泵预期的启停时间来预设插板阀的启闭时间，从而在干泵停止工作时，阻隔腔内与外界气体。然而在日常生产中，干泵存在异常停机情况，而插板阀由于未到达预期时间，从而未能及时关闭，导致气体回灌，污染腔体。这会导致不良品的发生，对于已污染的腔体，还需进行清洁保养，严重影响生产效率与质量，故而需对干泵与腔体之间的阀门进行防倒灌优化。
技术实现思路
1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种双重保护的防倒灌控制阀，能够在干泵异常停机时，先由机械部分立刻动作实现逆止，再由控制部分在干泵完全停机后关闭阀门，实现双重防倒灌保护。
2、技术方案：为实现上述目的，本专利技术的一种双重保护的防倒灌控制阀，包括机械逆止模块和主控阀体；所述主控阀体包括通气通道，用于连通腔体与泵体；所述通气通道一端连接于泵体，其另一端通过机械逆止模块连通于腔体内部；所述通气通道与所述机械逆止模块之间设置有插板，所述插板通过外力驱动往复移动开闭于通气通道端口；所述机械逆止模块两端分别设置有通孔，两个所述通孔分别连接于所述通气通道的端口和所述腔体的端口；所述机械逆止模块内部设置有直通通道和环形通道，所述直通通道和环形通道均与两个所述通孔连通；所述直通通道的两端口分别对齐于两端所述通孔，所述环形通道环绕于所述直通通道外侧；所述机械逆止模块内部设置有挡
3、进一步地，所述机械逆止模块包括主体，所述主体两端口分别固设有法兰，所述法兰中心设置有所述通孔；所述主体内部设置有骨架结构；所述骨架结构分隔所述主体内部空间为所述直通通道和环形通道。
4、进一步地，所述骨架结构包括分隔板，所述分隔板通过支架结构支撑于两个所述法兰之间；所述分隔板中心开孔构成所述直通通道；所述分隔板与所述主体之间间隙设置构成所述环形通道。
5、进一步地，所述支架结构包括若干支撑杆，所述分隔板的两侧端面均设置有多个所述支撑杆；位于同侧端面上的多个所述支撑杆绕直通通道轴线均匀环绕布设。
6、进一步地，所述直通通道靠近于所述腔体的一侧端口下沉设置有嵌槽，所述嵌槽与所述挡板尺寸配合设置；多个所述支撑杆沿所述嵌槽边缘布设，多个所述支撑杆围绕构成导向结构，所述挡板沿所述导向结构移动于直通通道于通孔之间。
7、进一步地，连接于腔体的所述通孔内端口设置有电磁铁模块及其触发开关；所述挡板接触所述触发开关，使得电磁铁模块得电；所述电磁铁模块吸附所述挡板贴合于所述通孔内端口。
8、进一步地，所述主控阀体包括壳体，所述壳体内设置有供插板滑动的滑槽，所述滑槽所在平面与所述通气通道的轴线垂直；所述插板连接于启闭驱动装置的输出端，所述启闭驱动装置设置于容置腔内，所述容置腔位于所述通气通道一侧。
9、进一步地，所述泵体设置有on/off运行状态的干接点；所述干接点电性连接于主控制器，所述主控制器电性连接于所述启闭驱动装置。
10、进一步地，所述插板的开启位置和关闭位置均设置有到位感应装置，所述到位感应装置电性连接于所述主控制器；所述到位感应装置通过所述主控制器反馈信号连接于所述启闭驱动装置。
11、进一步地，位于关闭位置的所述到位感应装置通过所述主控制器断电信号连接于所述电磁铁模块。
12、有益效果：本专利技术的一种双重保护的防倒灌控制阀，至少包括以下优点：
13、1.通过增设机械式逆止阀结构，可利用管路内原有的气压差特性，快速做出封闭动作，防止气体逆流。
14、2.通过在干泵增设on/off运行状态的干接点，使得阀门在干泵完全停机后关闭，实现双重保护，同时保持管路内压力。
15、3.通过增设电磁铁模块，使得挡板封闭动作后被吸附，保证挡板封堵稳固不漏气。
16、4.通过设置双控通断电路和插板的到位感应装置，实现电磁铁模块的通断电状态与插板阀开关状态的逻辑闭锁关系，从而保证干泵的正常运行，以及异常停机时电磁铁的吸附可靠。
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1.一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：包括机械逆止模块(1)和主控阀体(2)；所述主控阀体(2)包括通气通道(21)，用于连通腔体与泵体；所述通气通道(21)一端连接于泵体(3)，其另一端通过机械逆止模块(1)连通于腔体内部；所述通气通道(21)与所述机械逆止模块(1)之间设置有插板(4)，所述插板(4)通过外力驱动往复移动开闭于通气通道(21)端口；
2.根据权利要求1所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述机械逆止模块(1)包括主体(11)，所述主体(11)两端口分别固设有法兰(12)，所述法兰(12)中心设置有所述通孔(17)；所述主体(11)内部设置有骨架结构(14)；所述骨架结构(14)分隔所述主体(11)内部空间为所述直通通道(15)和环形通道(16)。
3.根据权利要求2所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述骨架结构(14)包括分隔板(141)，所述分隔板(141)通过支架结构支撑于两个所述法兰(12)之间；所述分隔板(141)中心开孔构成所述直通通道(15)；所述分隔板(141)与所述主体(11)之间间隙设置构成
4.根据权利要求3所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述支架结构包括若干支撑杆(142)，所述分隔板(141)的两侧端面均设置有多个所述支撑杆(142)；位于同侧端面上的多个所述支撑杆(142)绕直通通道(15)轴线均匀环绕布设。
5.根据权利要求4所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述直通通道(15)靠近于所述腔体的一侧端口下沉设置有嵌槽(18)，所述嵌槽(18)与所述挡板(13)尺寸配合设置；多个所述支撑杆(142)沿所述嵌槽(18)边缘布设，多个所述支撑杆(142)围绕构成导向结构，所述挡板(13)沿所述导向结构移动于直通通道(15)于通孔(17)之间。
6.根据权利要求5所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：连接于腔体的所述通孔(17)内端口设置有电磁铁模块(5)及其触发开关(51)；所述挡板(13)接触所述触发开关(51)，使得电磁铁模块(5)得电；所述电磁铁模块(5)吸附所述挡板(13)贴合于所述通孔(17)内端口。
7.根据权利要求6所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述主控阀体(2)包括壳体(22)，所述壳体(22)内设置有供插板(4)滑动的滑槽(23)，所述滑槽(23)所在平面与所述通气通道(21)的轴线垂直；所述插板(4)连接于启闭驱动装置(6)的输出端，所述启闭驱动装置(6)设置于容置腔(24)内，所述容置腔(24)位于所述通气通道(21)一侧。
8.根据权利要求7所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述泵体(3)设置有ON/OFF运行状态的干接点(31)；所述干接点(31)电性连接于主控制器(7)，所述主控制器(7)电性连接于所述启闭驱动装置(6)。
9.根据权利要求8所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述插板(4)的开启位置和关闭位置均设置有到位感应装置(8)，所述到位感应装置(8)电性连接于所述主控制器(7)；所述到位感应装置(8)通过所述主控制器(7)反馈信号连接于所述启闭驱动装置(6)。
10.根据权利要求9所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：位于关闭位置的所述到位感应装置(8)通过所述主控制器(7)断电信号连接于所述电磁铁模块(5)。
...【技术特征摘要】
1.一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：包括机械逆止模块(1)和主控阀体(2)；所述主控阀体(2)包括通气通道(21)，用于连通腔体与泵体；所述通气通道(21)一端连接于泵体(3)，其另一端通过机械逆止模块(1)连通于腔体内部；所述通气通道(21)与所述机械逆止模块(1)之间设置有插板(4)，所述插板(4)通过外力驱动往复移动开闭于通气通道(21)端口；
2.根据权利要求1所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述机械逆止模块(1)包括主体(11)，所述主体(11)两端口分别固设有法兰(12)，所述法兰(12)中心设置有所述通孔(17)；所述主体(11)内部设置有骨架结构(14)；所述骨架结构(14)分隔所述主体(11)内部空间为所述直通通道(15)和环形通道(16)。
3.根据权利要求2所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述骨架结构(14)包括分隔板(141)，所述分隔板(141)通过支架结构支撑于两个所述法兰(12)之间；所述分隔板(141)中心开孔构成所述直通通道(15)；所述分隔板(141)与所述主体(11)之间间隙设置构成所述环形通道(16)。
4.根据权利要求3所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述支架结构包括若干支撑杆(142)，所述分隔板(141)的两侧端面均设置有多个所述支撑杆(142)；位于同侧端面上的多个所述支撑杆(142)绕直通通道(15)轴线均匀环绕布设。
5.根据权利要求4所述的一种双重保护的防倒灌控制阀，其特征在于：所述直通通道(15)靠近于所述腔体的一侧端口下沉设置有嵌槽(18)，所述嵌槽(18)与所述挡板(13)尺寸配合设置；多个所述支撑杆(142...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁仁模，李玄镇，
申请(专利权)人：无锡凯必特斯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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