【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆刻蚀工艺，尤其是一种用于刻蚀中的多功能机械手。
技术介绍
1、目前工艺中通常是通过光学激光传感器来进行寻边。即将晶圆放于样品台上，假设此时激光被晶圆挡住。此时晶圆开始旋转，当转至缺口位置时，红色激光器发出的激光可通过切槽达到激光收集器中，再通过计算便可获知晶圆上缺口的位置信息。
2、目前的机械手只具备晶圆转运功能，不具备晶圆寻边和冷却功能，需多增加寻边腔室及冷却腔室，工艺设计成本和调试成本较高，多种功能叠加在机械手上又会导致机械手结构复杂化，增加用料成本。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种用于刻蚀中的多功能机械手，使用同一气源实现晶圆转运过程中寻边和冷却，在设计成本、调试成本、用料成本上均有下降。本专利技术采用的技术方案是：
2、一种用于刻蚀中的多功能机械手，包括：上臂；罩壳，设置在上臂下侧的一端、与上臂之间形成冷却腔室，所述罩壳底部设置与冷却腔室连通的进气口，所述罩壳侧部设置与冷却腔室连通的排气口；转轴，旋转密封连接于上臂，所述转轴的两端分别连接扇叶和转盘，所述扇叶隐藏在冷却腔室内，所述转盘位于上臂上侧，所述转轴与所述进气口偏心布置；感应件，设置在上臂上，用于感应晶圆上的缺口；以及刹车件，用于刹停或释放所述转轴。
3、进一步地，所述上臂上设置有缺口感应孔，晶圆的缺口在旋转时经过所述感应件的感应元件与所述缺口感应孔之间的连线。
4、进一步地，所述缺口感应孔贯穿于所述上臂，所述上臂的上侧和
5、进一步地，所述刹车件包括：刹车座，设置在罩壳内侧壁上，所述刹车座向转轴延伸设置有展臂；刹车盘，转动连接于所述刹车座，所述刹车盘一侧面设置刹车片；其中，所述展臂侧面设置有第一电磁元件，所述刹车盘侧面设置有第二电磁元件，所述第一电磁元件与所述第二电磁元件能够互相靠近或互相远离，以使得所述刹车片能够抵接所述转轴或释放所述转轴。
6、进一步地，所述刹车座上设置有弧形的腰孔，所述刹车盘上设置有销轴，所述销轴滑动连接于腰孔。
7、进一步地，还包括：进气管路，其一端连通于进气口，其另一端用于连接制冷系统；排气管路，其一端连通于排气口，其另一端用于连接制冷系统。
8、进一步地，所述进气管路和/或所述排气管路上设置有控制阀。
9、进一步地，所述进气管路和/或所述排气管路上设置有分支管路，所述分支管路的末端连接有喷头，所述喷头对准所述晶圆中心。
10、进一步地，所述分支管路上设置有控制阀。
11、进一步地，所述上臂上设置有温度传感器，所述温度传感器对准晶圆背面；和/或，所述上臂上设置有摄像头，所述摄像头的镜头对准晶圆正面。
12、本专利技术的优点：
13、通过设置罩壳、转轴、扇叶，使气态冷媒吹动扇叶旋转，从而带动转盘转动，气态冷媒将晶圆冷却的同时还作为转盘转动的动力源，省略驱动转轴的驱动件的布置，减小机械手的厚度，节约用料成本和维护成本；
14、通过设置感应件与刹车件，感应件感应到晶圆缺口时，刹车件动作将转轴刹停，实现晶圆边转运边寻边，节省寻边腔室的布置，大大提高晶圆工艺效率；
15、通过设置分支管路，利用同一气源完成晶圆表面的吹扫工作，增效降本；
16、通过设置摄像头对晶圆寻边过程录像，监控寻边过程，通过设置温度传感器监测晶圆背面的温度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述上臂（1）上设置有缺口感应孔（1a），晶圆的缺口在旋转时经过所述感应件（6）的感应元件与所述缺口感应孔（1a）之间的连线。
3.根据权利要求2所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述缺口感应孔（1a）贯穿于所述上臂（1），所述上臂（1）的上侧和/或下侧设置有感应件（6）。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，所述刹车件包括：
5.根据权利要求4所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述刹车座（7）上设置有弧形的腰孔（7b），所述刹车盘（8）上设置有销轴（8b），所述销轴（8b）滑动连接于腰孔（7b）。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求6所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述进气管路（11）和/或所述排气管路（12）上设置有控制阀（13）。
8.根据权利
9.根据权利要求8所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述分支管路（14）上设置有控制阀（13）。
10.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述上臂（1）上设置有温度传感器（16），所述温度传感器（16）对准晶圆背面；和/或，所述上臂（1）上设置有摄像头，所述摄像头的镜头对准晶圆正面。
...【技术特征摘要】
1.一种用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述上臂（1）上设置有缺口感应孔（1a），晶圆的缺口在旋转时经过所述感应件（6）的感应元件与所述缺口感应孔（1a）之间的连线。
3.根据权利要求2所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述缺口感应孔（1a）贯穿于所述上臂（1），所述上臂（1）的上侧和/或下侧设置有感应件（6）。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于，所述刹车件包括：
5.根据权利要求4所述的用于刻蚀中的多功能机械手，其特征在于：所述刹车座（7）上设置有弧形的腰孔（7b），所述刹车盘（8）上设置有销轴（8b），所述销轴（8b）滑动连接于腰孔（7b）。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞铭熙，王兆丰，王世宽，
申请(专利权)人：无锡尚积半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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