一种半导体12寸MASK清洗篮制造技术

技术编号:41310469 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-13 14:54
本技术公开了一种半导体12寸MASK清洗篮,包括第一支撑架、第二支撑架、第一固定架和第二固定架,所述第一支撑架的右侧设置有第二支撑架,所述第二支撑架的右侧从上至下依次开设有第一矩形孔和第二矩形孔,所述第一固定架和第二固定架的左右两侧均对称安装有第一固定块。通过第一圆柱棒和第二圆柱棒以及相邻的第二圆柱棒对MASK本体进行限位和固定,防止MASK本体在被清洗时发生偏移,同时第一圆柱棒和第二圆柱棒可降低与MASK本体的接触面积,提高MASK本体的清洗效率,并且通过第一圆柱棒和第二圆柱棒对MASK本体固定时不会对MASK本体表面造成损坏,提高对MASK本体的防护作用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及清洗设备,具体为一种半导体12寸mask清洗篮。


技术介绍

1、oled蒸镀过程中,会将mask制作成一定形状,形状一般为方形,材质为因瓦合金,中间掩膜区域非常薄。mask的作用为了让材料蒸镀在制作的图形区域内,其他不蒸镀材料的区域用做封装胶封装基片及邦定驱动芯片。因此在使用一段时间后,mask表面会沉积一层蒸镀材料,会严重影响产品的良品率,必须进行更换或清洗。

2、如公开号为cn212442243u的一种mask清洗挂篮,结构简单,通过夹杆在滑杆上滑动来满足不同尺寸的mask的固定,同时通过喷射孔对mask进行清洗,与夹杆接触部以及其他位置进行喷射清洗,清洗效果更好。但其装置还是存在一定的缺陷;

3、每次在对mask进行清洗时只能进行单片清洗,清洗效率较低,同时在对mask进行夹持固定时,容易使mask表面受损。

4、所以我们提出了一种半导体12寸mask清洗篮,以便于解决上述中提出的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种半导体12寸mask清洗篮,以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上现有的mask清洗挂篮每次在对mask进行清洗时只能进行单片清洗,清洗效率较低,同时在对mask进行夹持固定时,容易使mask表面受损的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体12寸mask清洗篮,包括第一支撑架、第二支撑架、第一固定架和第二固定架,所述第一支撑架的右侧设置有第二支撑架,且第一支撑架和第二支撑架之间设置有第一固定架,且第一固定架的下方设置有第二固定架,所述第二支撑架的右侧从上至下依次开设有第一矩形孔和第二矩形孔,且第二支撑架的右侧下方开设有固定孔,所述第一固定架和第二固定架的左右两侧均对称安装有第一固定块,且第一固定架和第二固定架上等距安装有第二固定块。

3、优选的,所述第一支撑架和第二支撑架之间相互平行,且第一支撑架和第二支撑架的远离第一固定架和第二固定架的位置为镂空结构设计。

4、采用上述结构设计,通过第一支撑架和第二支撑架便于对第一固定架和第二固定架进行固定,同时降低第一支撑架和第二支撑架的整体重量,便于携带拿取。

5、优选的,所述第一固定架和第二固定架之间相互平行,且第一固定架和第二固定架的左侧均固定于第一支撑架的内侧。

6、采用上述结构设计,通过第一固定架和第二固定架便于对mask本体进行限位,从而便于将mask本体放置在第一固定架和第二固定架之间进行清洗。

7、优选的,所述第一矩形孔和第二矩形孔分别与第一固定架和第二固定架的右端相连接,且第一矩形孔和第二矩形孔与第一固定架和第二固定架的右端呈卡接结构设计。

8、采用上述结构设计,通过将第一固定架和第二固定架的右端卡接于第二支撑架上的第一矩形孔和第二矩形孔上,完成对第一固定架和第二固定架的固定。

9、优选的,所述固定孔设置有三个,且固定孔位于第二矩形孔的下方,固定孔的左侧连接有柱型架,柱型架的左端与第一支撑架之间为固定连接,而且柱型架等距设置有三个。

10、采用上述结构设计,柱型架用于对mask本体起到支撑作用,使mask本体在该清洗篮中更加稳定,同时柱型架也可降低与mask本体的接触面积,方便对mask本体进行清洗,提高清洗效率。

11、优选的,所述第二固定块的内部呈中空结构设计,第一固定块和第二固定块位于同一水平线上,且第一固定块的相对一侧安装有第一圆柱棒,第二固定块的左右两侧安装有第二圆柱棒,而且第一圆柱棒和第二圆柱棒之间及相邻第二圆柱棒之间设置有mask本体,第一圆柱棒和第二圆柱棒的表面设置有橡胶垫。

12、采用上述结构设计,通过第一圆柱棒和第二圆柱棒以及相邻的第二圆柱棒对mask本体进行限位和固定,防止mask本体在被清洗时发生偏移,同时第一圆柱棒和第二圆柱棒可降低与mask本体的接触面积,提高mask本体的清洗效率,并且通过第一圆柱棒和第二圆柱棒对mask本体固定时不会对mask本体表面造成损坏,提高对mask本体的防护作用。

13、与现有技术相比,本技术的有益效果是:该半导体12寸mask清洗篮:

14、1、设置有柱型架,柱型架用于对mask本体起到支撑作用,使mask本体在该清洗篮中更加稳定,同时柱型架也可降低与mask本体的接触面积,方便对mask本体进行清洗,同时可进行多个mask本体清洗,大大降低人工成本,提高清洗效率;

15、2、设置有第一圆柱棒和第二圆柱棒,通过第一圆柱棒和第二圆柱棒以及相邻的第二圆柱棒对mask本体进行限位和固定,防止mask本体在被清洗时发生偏移,同时第一圆柱棒和第二圆柱棒可降低与mask本体的接触面积,提高mask本体的清洗效率,并且通过第一圆柱棒和第二圆柱棒对mask本体固定时不会对mask本体表面造成损坏,提高对mask本体的防护作用。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体12寸MASK清洗篮,包括第一支撑架(1)、第二支撑架(2)、第一固定架(3)和第二固定架(4),其特征在于:所述第一支撑架(1)的右侧设置有第二支撑架(2),且第一支撑架(1)和第二支撑架(2)之间设置有第一固定架(3),且第一固定架(3)的下方设置有第二固定架(4),所述第二支撑架(2)的右侧从上至下依次开设有第一矩形孔(5)和第二矩形孔(6),且第二支撑架(2)的右侧下方开设有固定孔(7),所述第一固定架(3)和第二固定架(4)的左右两侧均对称安装有第一固定块(9),且第一固定架(3)和第二固定架(4)上等距安装有第二固定块(10)。

2.根据权利要求1所述的半导体12寸MASK清洗篮,其特征在于:所述第一支撑架(1)和第二支撑架(2)之间相互平行,且第一支撑架(1)和第二支撑架(2)的远离第一固定架(3)和第二固定架(4)的位置为镂空结构设计。

3.根据权利要求1所述的半导体12寸MASK清洗篮,其特征在于:所述第一固定架(3)和第二固定架(4)之间相互平行,且第一固定架(3)和第二固定架(4)的左侧均固定于第一支撑架(1)的内侧。</p>

4.根据权利要求1所述的半导体12寸MASK清洗篮,其特征在于:所述第一矩形孔(5)和第二矩形孔(6)分别与第一固定架(3)和第二固定架(4)的右端相连接,且第一矩形孔(5)和第二矩形孔(6)与第一固定架(3)和第二固定架(4)的右端呈卡接结构设计。

5.根据权利要求1所述的半导体12寸MASK清洗篮,其特征在于:所述固定孔(7)设置有三个,且固定孔(7)位于第二矩形孔(6)的下方,固定孔(7)的左侧连接有柱型架(8),柱型架(8)的左端与第一支撑架(1)之间为固定连接,而且柱型架(8)等距设置有三个。

6.根据权利要求1所述的半导体12寸MASK清洗篮,其特征在于:所述第二固定块(10)的内部呈中空结构设计,第一固定块(9)和第二固定块(10)位于同一水平线上,且第一固定块(9)的相对一侧安装有第一圆柱棒(11),第二固定块(10)的左右两侧安装有第二圆柱棒(12),而且第一圆柱棒(11)和第二圆柱棒(12)之间及相邻第二圆柱棒(12)之间设置有MASK本体(13),第一圆柱棒(11)和第二圆柱棒(12)的表面设置有橡胶垫。

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【技术特征摘要】

1.一种半导体12寸mask清洗篮,包括第一支撑架(1)、第二支撑架(2)、第一固定架(3)和第二固定架(4),其特征在于:所述第一支撑架(1)的右侧设置有第二支撑架(2),且第一支撑架(1)和第二支撑架(2)之间设置有第一固定架(3),且第一固定架(3)的下方设置有第二固定架(4),所述第二支撑架(2)的右侧从上至下依次开设有第一矩形孔(5)和第二矩形孔(6),且第二支撑架(2)的右侧下方开设有固定孔(7),所述第一固定架(3)和第二固定架(4)的左右两侧均对称安装有第一固定块(9),且第一固定架(3)和第二固定架(4)上等距安装有第二固定块(10)。

2.根据权利要求1所述的半导体12寸mask清洗篮,其特征在于:所述第一支撑架(1)和第二支撑架(2)之间相互平行,且第一支撑架(1)和第二支撑架(2)的远离第一固定架(3)和第二固定架(4)的位置为镂空结构设计。

3.根据权利要求1所述的半导体12寸mask清洗篮,其特征在于:所述第一固定架(3)和第二固定架(4)之间相互平行,且第一固定架(3)和第二固定架(4)的左侧均固定于第一支撑架(1)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:戎家亮何桥
申请(专利权)人:安徽应友光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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