TOPcon太阳能电池及其制作方法技术

本申请提供了一种TOPcon太阳能电池及其制作方法，制备方法包括：在硅基片的正面上从内到外依次沉积硼扩散层、氧化铝层以及复合层，在硅基片的背面上从内到外依次沉积隧穿层、多晶硅层、磷扩散层以及至少一层氮化硅层，每一层所述氮化硅层的内侧面均沉积有氢钝化层；其中，所有氢钝化层的沉积方法均为：先向沉积室内通入氨气实现恒压，然后继续通入氨气实现沉积。通过在沉积氮化硅层之前先沉积一层氢钝化层，增加了原子态的氢来钝化了硅片表面的悬挂键，保证了氢钝化效果，提升了化学钝化性能，提升开路电压，进而提升TOPcon太阳能电池的转换效率0.0805％以上，背面膜层的总厚度为70nm～90nm，折射率为2.0～2.5。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于太阳能电池，更具体地说，是涉及一种背表面加氢膜层钝化的topcon太阳能电池及其制作方法。

技术介绍

1、太阳能电池是一种有效地吸收太阳辐射能，利用光生伏特效应把光能转换成电能的器件，当太阳光照在半导体p-n结上时会形成新的空穴-电子对，在p-n结电场的作用下，空穴由n区流向p区，电子由p区流向n区，接通电路后就形成电流。由于是利用各种势垒的光生伏特效应将太阳光能转换成电能的固体半导体器件，故又称太阳能电池或光伏电池，是太阳能电池阵电源系统的重要组件。

2、随着太阳能电池发展及市场需求，topcon电池制造成本及转换效率提升成为目前行业首选解决问题。目前现有的topcon电池效率还有较大优化空间，并且考虑表面悬挂及缺陷，仍需氢进行化学钝化。

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题为：如何提高topcon电池的转换效率。

2、本专利技术的技术方案为：

3、一种背表面加氢膜层钝化的topcon太阳能电池的制作方法，包括：

4、在硅基片的正面上从内到本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种背表面加氢膜层钝化的TOPcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述制备方法包括：

2.根据权利要求1所述的背表面加氢膜层钝化的TOPcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述氢钝化层总共为四层，所述氮化硅层一共为四层，氢钝化层和氮化硅层的顺序分别为：第一氢钝化层、第一氮化硅层、第二氢钝化层、第二氮化硅层、第三氢钝化层、第三氮化硅层、第四氢钝化层以及第四氮化硅层，第一氢钝化层紧邻所述磷扩散层。

3.根据权利要求2所述的背表面加氢膜层钝化的TOPcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，沉积所述第一氢钝化层时，恒压所需氨气的流量为11000～12500ml...

【技术特征摘要】

1.一种背表面加氢膜层钝化的topcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述制备方法包括：

2.根据权利要求1所述的背表面加氢膜层钝化的topcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述氢钝化层总共为四层，所述氮化硅层一共为四层，氢钝化层和氮化硅层的顺序分别为：第一氢钝化层、第一氮化硅层、第二氢钝化层、第二氮化硅层、第三氢钝化层、第三氮化硅层、第四氢钝化层以及第四氮化硅层，第一氢钝化层紧邻所述磷扩散层。

3.根据权利要求2所述的背表面加氢膜层钝化的topcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，沉积所述第一氢钝化层时，恒压所需氨气的流量为11000～12500ml/min，所需时间为15～25s，沉积所需氨气的流量为11000～12500ml/min，所需时间为55～65s。

4.根据权利要求2所述的背表面加氢膜层钝化的topcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，沉积所述第二氢钝化层时，恒压所需氨气的流量为15000～17000ml/min，所需时间为15～25s，沉积所需氨气的流量为15000～17000ml/min，所需时间为55～65s。

5.根据权利要求2所述的背表面加氢膜层钝化的topcon太阳能电池的制作方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚林萍，
申请(专利权)人：绵阳炘皓新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：