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本申请提供了一种TOPcon太阳能电池及其制作方法，制备方法包括：在硅基片的正面上从内到外依次沉积硼扩散层、氧化铝层以及复合层，在硅基片的背面上从内到外依次沉积隧穿层、多晶硅层、磷扩散层以及至少一层氮化硅层，每一层所述氮化硅层的内侧面均沉积...
该专利属于绵阳炘皓新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳炘皓新能源科技有限公司授权不得商用。

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