【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及涂层，具体涉及一种兼具高硬度和自润滑性能的alcrvtisin高熵合金涂层及其制备工艺。
技术介绍
1、硬质涂层发展对刀具切削水平起决定作用，传统氮化物涂层通过添加不同元素来改善其性能，但较少主元限制了日益严苛的加工要求。高熵合金的问世突破了这一瓶颈，高熵涂层逐渐引发人们关注。高熵氮化物作为重要组成部分，因其由多主元制备而成，极大地丰富了合金种类，使涂层具有高强度、低磨损等优异性能，在刀具切削等方面具有广泛应用前景，通过控制v靶电流获得高性能刀具涂层材料，完善了高熵合金理论体系。
2、随着航空航天、国防军工、机械制造等行业迅速发展，对钨钼合金等耐高温材料的需求量迅速增加，更对其加工质量和效率提出严苛要求。钨钼合金等难加工材料导热系数较低，自身强度高，属于典型难加工材料，加工时切削力较大，导致刀具磨损严重，服役时间降低。目前加工钨钼合金这类难加工材料以硬质合金刀具为主，但在高速干切削环境下，硬质合金刀具磨损严重，刀具寿命短，这无疑对刀具基体和防护涂层提出了更严苛要求。为响应绿色加工理念，在刀具涂层中添加固体润滑剂...
【技术保护点】
1.一种兼具高硬度和自润滑性能的AlCrVTiSiN高熵合金涂层，其特征在于：该高熵合金涂层沉积于金属(硬质合金基片、不锈钢片)或硅片基体上，所述AlCrVTiSiN高熵合金涂层中，V为17.5-23.05wt.％，Al为17.0-21.0wt.％，Cr为7.2-9.0wt.％，Ti为5.0-6.5wt.％，Si为3.5-4.5wt.％，N为42-46wt.％。
2.根据权利要求1所述的兼具高硬度和自润滑性能的AlCrVTiSiN高熵合金涂层，其特征在于：所述AlCrVTiSiN高熵合金涂层中，V元素含量优选为18.4-20.26wt.％；更优选为19.8...
【技术特征摘要】
1.一种兼具高硬度和自润滑性能的alcrvtisin高熵合金涂层，其特征在于：该高熵合金涂层沉积于金属(硬质合金基片、不锈钢片)或硅片基体上，所述alcrvtisin高熵合金涂层中，v为17.5-23.05wt.％，al为17.0-21.0wt.％，cr为7.2-9.0wt.％，ti为5.0-6.5wt.％，si为3.5-4.5wt.％，n为42-46wt.％。
2.根据权利要求1所述的兼具高硬度和自润滑性能的alcrvtisin高熵合金涂层，其特征在于：所述alcrvtisin高熵合金涂层中，v元素含量优选为18.4-20.26wt.％；更优选为19.80-20.20wt.％。
3.根据权利要求1所述的兼具高硬度和自润滑性能的alcrvtisin高熵合金涂层，其特征在于：所述alcrvtisin高熵合金涂层为面心立方(fcc)晶相和密排六方(hcp)晶相双相结构，面心立方晶相包括aln、crn、tin和vn相，密排六方晶相包括aln相，面心立方晶相中的fcc-tin、fcc-aln和fcc-vn均沿(200)晶面择优生长。
4.根据权利要求1所述的兼具高硬度和自润滑性能的alcrvtisin高熵合金涂层，其特征在于：所述alcrvtisin高熵合金涂层的硬度高于27gpa，涂层的临界载荷最高可达84.2n，涂层的磨损率低至2.54×10-3μm3/n·μm。
5.根据权利要求1所述的兼具高硬度和自润滑性能的alcrvtisin高熵合金涂层的制备工艺，其特征在于：该工艺是采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积alcrvtisin高熵合金涂层，其中靶材选取金属alcrsi靶、altisi靶和v靶；沉积alcrvtisin高熵合金涂层时：本底真空度为3.0×10-3pa以上，沉积温度430-470℃，沉积压强2.8-3.0pa，开启alcrsi靶、altisi靶以及v靶，alcrsi靶电流95-100a，altisi靶电流80-85a，v靶电流为75-95a，脉...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘艳梅，陈悦，王铁钢，张冬青，张蕊，许梦娇，阎兵，曹凤婷，
申请(专利权)人：天津职业技术师范大学中国职业培训指导教师进修中心，
类型：发明
国别省市：
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