本申请涉及光学技术领域，尤其涉及电子光学调试方法、装置和系统，该方案可以应用于需要调试入射电子束和电子收集系统的设备，如单束和多束扫描电子显微镜。在该方法中，使用带有调试图案的样品进行电子光学调试。基于该样品，可以根据第一探测器拍摄的第一图像对入射电子束进行调试，并且在确定入射电子束后，根据第二探测器拍摄的第二图像对第二探测器中的电子收集系统调试，从而将入射电子束和电子收集系统的调试解耦，进而避免了电子光学调试过程中更换样品的步骤，提高了调试的效率和精度。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学，更具体地，涉及一种电子光学调试方法、装置和系统。
技术介绍
1、电子光学成像系统是传统电子显微镜的核心子系统，随着人类社会的进步发展，对于微观探测的需求与日俱增，其在生物、医学、物理、材料、半导体等行业都有着广泛应用，所有的扫描电子显微系统在出厂前都需要进行电子光学调试，现阶段的调试都是基于电光转换晶体的辅助进行电子束斑的定位，然后通过传统测试样品(金粒子、锡粒子)进行电子光学光路的精细调节。但是由于电光转换晶体和传统电子光学调试样品的厚度和尺寸是不相同的，从电光转换晶体切换成传统电子光学调试样品的时候，就失去了对电子束斑位置的监控能力，只能去盲调电子光学光路，如果怀疑束斑偏离出了调试样品区域，就又需要换回电光转换晶体，所以传统电子光学调试方案存在着需要反复开关真空腔、反复更换样品等耗时过长的痛点。随着多电子束系统的诞生和发展，这种电光转换晶体和传统测试样品之间的切换急剧增加了电子光学系统的调试难度和成本。
2、因此，如何简化电子光学调试的流程，提高电子光学调试的精度和效率是现阶段亟需解决的技术问题。
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【技术保护点】
1.一种电子光学调试方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一预设条件包括：
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二预设条件包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一样品上绘制有调试图案，所述调试图案是根据所述第二预设条件设计的。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，第一探测器透过透明真空法兰拍摄所述至少一个第一图像。
6.一种电子光学调试系统，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第一预设条件包括：...
【技术特征摘要】
1.一种电子光学调试方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一预设条件包括：
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二预设条件包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一样品上绘制有调试图案，所述调试图案是根据所述第二预设条件设计的。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，第一探测器透过透明真空法兰拍摄所述至少一个第一图像。
6.一种电子光学调试系统，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第一预设条件包括：
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述第二预设条件包括：
9.根据权利要求7或8所述的系统，其特征在于，所述第一样品上绘制有调试图案，所述调试图案是根据所述第二预设条件设计的。
10.一种电子光学调试样品，其特征在于，包括：
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王琰，朱金台，劳大鹏，白玉杰，戴凤钊，杨晨，袁忠辉，黎承蕾，闫石林，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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