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本申请涉及光学技术领域，尤其涉及电子光学调试方法、装置和系统，该方案可以应用于需要调试入射电子束和电子收集系统的设备，如单束和多束扫描电子显微镜。在该方法中，使用带有调试图案的样品进行电子光学调试。基于该样品，可以根据第一探测器拍摄的第一图...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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