【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，尤其涉及一种加工设备。
技术介绍
1、相关技术中，晶圆在加工时需要进行清洗以及涂覆胶层，晶圆的清洗和涂覆通常分别在加工设备的清洗桶和涂覆桶中进行。在清洗和涂覆的过程中，需要封闭清洗桶和涂覆桶的开口，而清洗桶和涂覆桶的开口敞开时，晶圆能够从开口进入或离开清洗桶和涂覆桶。基于此，现已有通过硬质盖板的方式实现清洗桶和涂覆桶的开口的封闭和敞开，具体通过水平方向移动的硬质盖板实现开口的封闭和敞开。
2、然而，硬质盖板沿水平方向移动以敞开清洗桶和涂覆桶的开口时，硬质盖板占用空间较大，清洗桶和涂覆桶之间间隔距离较大，加工设备的整体体积较大。
技术实现思路
1、本技术实施例公开了一种加工设备，清洗桶和涂覆桶的至少一个开口敞开时，薄膜能够部分弯曲且位于清洗桶和涂覆桶之间，减少薄膜占用的空间，清洗桶和涂覆桶之间的间隔距离减小，加工设备的整体体积较小。
2、本技术实施例公开了一种加工设备，包括清洗装置、涂覆装置、动力装置以及薄膜，所述清洗装置包括清洗桶，所述清洗桶具有第一开口端，所述清洗桶用于对位于所述清洗桶内的物料进行清洗，所述涂覆装置包括涂覆桶，所述涂覆桶与所述清洗桶间隔设置，所述涂覆桶具有第二开口端，所述涂覆桶用于对位于所述涂覆桶内的所述物料进行涂胶，所述动力装置设于所述清洗桶和所述涂覆桶，所述薄膜连接于所述动力装置，所述薄膜用于在所述动力装置的带动下切换至不同的状态，所述不同的状态至少包括第一状态、第二状态、第三状态以及第四状态；
3、其中
4、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述动力装置包括第一夹板、第二夹板以及辊组，所述第一夹板可滑动设于所述第一开口端以沿x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二夹板可滑动设于所述第二开口端以沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶，所述辊组设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述薄膜的两端分别连接于所述第一夹板和所述第二夹板，且所述薄膜绕设于所述辊组，所述第一夹板和所述第二夹板可沿所述x方向滑动带动所述薄膜绕所述辊组运动，以使所述薄膜切换至所述不同的状态。
5、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述辊组包括第一固定辊、第二固定辊以及活动辊，所述第一固定辊设于清洗桶靠近所述涂覆桶的一侧，所述第二固定辊设于所述涂覆桶靠近所述清洗桶的一侧，所述活动辊沿y方向可滑动设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述薄膜依次绕设于所述第一固定辊、所述活动辊和所述第二固定辊。
6、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述加工设备还包括安装架，所述安装架包括第一支架以及第二支架，所述第一支架设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述第一支架沿所述y方向延伸设置，所述活动辊沿所述y方向可滑动设于所述第一支架，所述第二支架设于所述第一支架的一端，所述第二支架沿所述x方向延伸设置，所述第一固定辊设于所述第二支架朝向所述清洗桶的一端，所述第二固定辊设于所述第二支架朝向所述涂覆桶的一端。
7、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述加工设备还包括第一滑动组件，所述第一滑动组件包括第一滑轨以及第一滑块，所述第一滑轨设于所述第一支架，所述第一滑轨沿所述y方向延伸设置，所述第一滑块滑动连接于所述第一滑轨，所述活动辊连接于所述第一滑块。
8、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述动力装置还包括第一驱动机构以及第二驱动机构，所述第一驱动机构设于所述第一开口端，所述第一夹板连接于所述第一驱动机构，所述第一夹板可在所述第一驱动机构的驱动下沿所述x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二驱动机构设于所述第二开口端，所述第二夹板连接于所述第二驱动机构，所述第二夹板可在所述第二驱动机构的驱动下沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶。
9、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述第一驱动机构包括第一驱动组件以及第二滑动组件，所述第二滑动组件和所述第一驱动组件设于所述第一开口端，所述第一夹板连接于所述第一驱动组件和所述第二滑动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述第一夹板随所述第二滑动组件沿所述x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二驱动机构包括第二驱动组件以及第三滑动组件，所述第三滑动组件和所述第二驱动组件设于所述第二开口端，所述第二夹板连接于所述第二驱动组件和所述第三滑动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述第二夹板随所述第三滑动组件沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶。
10、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述第二滑动组件包括第二滑轨以及第二滑块，所述第二滑轨设于所述第一开口端，所述第二滑轨沿所述x方向延伸设置，所述第二滑块滑动连接于所述第二滑轨，所述第一夹板连接于所述第二滑块，所述第三滑动组件包括第三滑轨以及第三滑块，所述第三滑轨设于所述第二开口端，所述第三滑轨沿所述x方向延伸设置，所述第三滑块滑动连接于所述第三滑轨，所述第二夹板连接于所述第三滑块。
11、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述清洗装置还包括第一承载盘以及第三驱动组件，所述第一承载盘设于所述清洗桶内，所述第一承载盘用于放置所述物料，所述第三驱动组件设于所述清洗桶背离所述第一开口端的一端，且所述第三驱动组件连接于所述第一承载盘，所述第三驱动组件用于驱动所述第一承载盘转动，所述涂覆装置还包括第二承载盘以及第四驱动组件，所述第二承载盘设于所述涂覆桶内，所述第二承载盘用于放置所述物料，所述第四驱动组件设于所述涂覆桶背离所述第二开口端的一端，且所述第四驱动组件连接于所述第二承载盘，所述第四驱动组件用于驱动所述第二承载盘转动。
12、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述加工设备还包括搬运装置，所述搬运装置用于将物料搬运至所述第一承载盘或所述第二承载盘，所述第一开口端和所述第二开口端朝向所述搬运装置设置。
13、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述搬运装置包括第一移动组件、第二移动组件以及抓取组件，所述第一移动组件用于沿x方向移动，所述第二移动组件连接于所述第一移动组件，所述第二移动组件用于沿y方向移动，所述抓取组件连接于所述第二移动组件，所述抓取组件用于抓取或松开所述物料。
14、作为一种可选的实施方式，在本技术实施例中，所述加工设备还包括底座，所述清洗桶和所述涂覆桶间隔设于所述底座。
15、与现有技术相比，本技术的实施例至少具有如下有益效果：
16、本技术实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种加工设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述动力装置包括第一夹板、第二夹板以及辊组，所述第一夹板可滑动设于所述第一开口端以沿x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二夹板可滑动设于所述第二开口端以沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶，所述辊组设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述薄膜的两端分别连接于所述第一夹板和所述第二夹板，且所述薄膜绕设于所述辊组，所述第一夹板和所述第二夹板可沿所述x方向滑动带动所述薄膜绕所述辊组运动，以使所述薄膜切换至所述不同的状态。
3.根据权利要求2所述的加工设备，其特征在于，所述辊组包括第一固定辊、第二固定辊以及活动辊，所述第一固定辊设于清洗桶靠近所述涂覆桶的一侧，所述第二固定辊设于所述涂覆桶靠近所述清洗桶的一侧，所述活动辊沿y方向可滑动设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述薄膜依次绕设于所述第一固定辊、所述活动辊和所述第二固定辊。
4.根据权利要求3所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括安装架，所述安装架包括第一支架以及第二支架，所述第一支架设于所述清洗桶和所述涂覆桶之
5.根据权利要求4所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括第一滑动组件，所述第一滑动组件包括第一滑轨以及第一滑块，所述第一滑轨设于所述第一支架，所述第一滑轨沿所述y方向延伸设置，所述第一滑块滑动连接于所述第一滑轨，所述活动辊连接于所述第一滑块。
6.根据权利要求2至5任一项所述的加工设备，其特征在于，所述动力装置还包括第一驱动机构以及第二驱动机构，所述第一驱动机构设于所述第一开口端，所述第一夹板连接于所述第一驱动机构，所述第一夹板可在所述第一驱动机构的驱动下沿所述x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二驱动机构设于所述第二开口端，所述第二夹板连接于所述第二驱动机构，所述第二夹板可在所述第二驱动机构的驱动下沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶。
7.根据权利要求6所述的加工设备，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一驱动组件以及第二滑动组件，所述第二滑动组件和所述第一驱动组件设于所述第一开口端，所述第一夹板连接于所述第一驱动组件和所述第二滑动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述第一夹板随所述第二滑动组件沿所述x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二驱动机构包括第二驱动组件以及第三滑动组件，所述第三滑动组件和所述第二驱动组件设于所述第二开口端，所述第二夹板连接于所述第二驱动组件和所述第三滑动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述第二夹板随所述第三滑动组件沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶。
8.根据权利要求7所述的加工设备，其特征在于，所述第二滑动组件包括第二滑轨以及第二滑块，所述第二滑轨设于所述第一开口端，所述第二滑轨沿所述x方向延伸设置，所述第二滑块滑动连接于所述第二滑轨，所述第一夹板连接于所述第二滑块，所述第三滑动组件包括第三滑轨以及第三滑块，所述第三滑轨设于所述第二开口端，所述第三滑轨沿所述x方向延伸设置，所述第三滑块滑动连接于所述第三滑轨，所述第二夹板连接于所述第三滑块。
9.根据权利要求1至5任一项所述的加工设备，其特征在于，所述清洗装置还包括第一承载盘以及第三驱动组件，所述第一承载盘设于所述清洗桶内，所述第一承载盘用于放置所述物料，所述第三驱动组件设于所述清洗桶背离所述第一开口端的一端，且所述第三驱动组件连接于所述第一承载盘，所述第三驱动组件用于驱动所述第一承载盘转动，所述涂覆装置还包括第二承载盘以及第四驱动组件，所述第二承载盘设于所述涂覆桶内，所述第二承载盘用于放置所述物料，所述第四驱动组件设于所述涂覆桶背离所述第二开口端的一端，且所述第四驱动组件连接于所述第二承载盘，所述第四驱动组件用于驱动所述第二承载盘转动。
10.根据权利要求9所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括搬运装置，所述搬运装置用于将物料搬运至所述第一承载盘或所述第二承载盘，所述第一开口端和所述第二开口端朝向所述搬运装置设置。
11.根据权利要求10所述的加工设备，其特征在于，所述搬运装置包括第一移动组件、第二移动组件以及抓取组件，所述第一移动组件用于沿x方向移动，所述第二移动组件连接于所述第一移动组件，所述第二移动组件用于沿y方向移动，所述抓取组件连接于所述第二移动组件，所述抓取组件用于抓取或松开所述物料。
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【技术特征摘要】
1.一种加工设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述动力装置包括第一夹板、第二夹板以及辊组，所述第一夹板可滑动设于所述第一开口端以沿x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二夹板可滑动设于所述第二开口端以沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶，所述辊组设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述薄膜的两端分别连接于所述第一夹板和所述第二夹板，且所述薄膜绕设于所述辊组，所述第一夹板和所述第二夹板可沿所述x方向滑动带动所述薄膜绕所述辊组运动，以使所述薄膜切换至所述不同的状态。
3.根据权利要求2所述的加工设备，其特征在于，所述辊组包括第一固定辊、第二固定辊以及活动辊，所述第一固定辊设于清洗桶靠近所述涂覆桶的一侧，所述第二固定辊设于所述涂覆桶靠近所述清洗桶的一侧，所述活动辊沿y方向可滑动设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述薄膜依次绕设于所述第一固定辊、所述活动辊和所述第二固定辊。
4.根据权利要求3所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括安装架，所述安装架包括第一支架以及第二支架，所述第一支架设于所述清洗桶和所述涂覆桶之间，所述第一支架沿所述y方向延伸设置，所述活动辊沿所述y方向可滑动设于所述第一支架，所述第二支架设于所述第一支架的一端，所述第二支架沿所述x方向延伸设置，所述第一固定辊设于所述第二支架朝向所述清洗桶的一端，所述第二固定辊设于所述第二支架朝向所述涂覆桶的一端。
5.根据权利要求4所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括第一滑动组件，所述第一滑动组件包括第一滑轨以及第一滑块，所述第一滑轨设于所述第一支架，所述第一滑轨沿所述y方向延伸设置，所述第一滑块滑动连接于所述第一滑轨，所述活动辊连接于所述第一滑块。
6.根据权利要求2至5任一项所述的加工设备，其特征在于，所述动力装置还包括第一驱动机构以及第二驱动机构，所述第一驱动机构设于所述第一开口端，所述第一夹板连接于所述第一驱动机构，所述第一夹板可在所述第一驱动机构的驱动下沿所述x方向滑动靠近或远离所述涂覆桶，所述第二驱动机构设于所述第二开口端，所述第二夹板连接于所述第二驱动机构，所述第二夹板可在所述第二驱动机构的驱动下沿所述x方向滑动靠近或远离所述清洗桶。
7.根据权利要求6所述的加工设备，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一驱动组件以及第二滑动组件，所述第二滑动组...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡光导精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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