集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列及其制备方法，微透镜阵列包括PDMS透明基底、不同焦距的阵列透镜，透镜四周设有微米级超疏水结构，微米级超疏水结构为多级结构，微柱顶部另有爪状结构，微米级结构的高度高于透镜。首先利用3D光刻的方法对光刻胶进行图案化曝光，显影后得到光刻胶模板；接着利用纳米压印技术将光刻结构转印到PDMS透明基底上，得到具有超疏水功能的多景深变焦微透镜阵列。本发明专利技术提出的超疏水变焦微透镜阵列具有优秀的超疏水和变焦成像性能，可用于极端潮湿的环境，如医学内窥镜，具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学器件领域、微纳加工领域，具体涉及一种集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列及该集成了超疏水和变焦功能的微透镜阵列的制备方法。

技术介绍

1、微透镜阵列在ar、vr和光学成像等领域有着广泛的应用。然而在室外或潮湿的环境使用时，水滴可能会粘附在微透镜表面，导致成性能明显下降；此外，由于微透镜阵列具有体积小、视场角广等优点，具有用于医学内窥镜的前景，但是人体内部的组织液会对成像效果带来较大的影响，此外，传统微透镜阵列景深较小，实际使用时希望能获得病变区域更多的信息，因此迫切需要集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列。

2、cn106950618a提出一种在微透镜表面制备仿生超疏水结构的方法，以此提高微透镜的疏水性能，使其具有防雾的功能。然而该方法会对成像、透光率等光学性能带来一定的影响。

3、cn114942484a提出一种是在微透镜的间隙中加入圆柱结构，在保持光学性能的同时提高疏水性能。然而该方法透镜尺寸单一，不具备变焦的功能，限制了其应用范围。

4、因此需要一种具有超疏水性能，同时拥有变焦成像性能的微透镜阵列结构。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列，其特征在于：包括透明基底(1)和加工于透明基底上的阵列透镜(2)；所述阵列透镜为不同焦距的阵列透镜组；阵列透镜四周设有若干微米级超疏水结构；所述微米级超疏水结构为多级结构即微米级多级超疏水结构(3)。

2.根据权利要求1所述集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列，其特征在于：所述阵列透镜的基本单元由若干个直径分别以直径差为8-12μm等差增长的透镜构成；所述若干透镜中直径相同的透镜呈纵向均匀排布；直径分别以直径差8-12μm等差增长的透镜自大到小呈横向排布构成一个透镜组；透镜之间的圆心距相等。

3.根据权利要求2所述集成超疏水和...

【技术特征摘要】

1.一种集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列，其特征在于：包括透明基底(1)和加工于透明基底上的阵列透镜(2)；所述阵列透镜为不同焦距的阵列透镜组；阵列透镜四周设有若干微米级超疏水结构；所述微米级超疏水结构为多级结构即微米级多级超疏水结构(3)。

2.根据权利要求1所述集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列，其特征在于：所述阵列透镜的基本单元由若干个直径分别以直径差为8-12μm等差增长的透镜构成；所述若干透镜中直径相同的透镜呈纵向均匀排布；直径分别以直径差8-12μm等差增长的透镜自大到小呈横向排布构成一个透镜组；透镜之间的圆心距相等。

3.根据权利要求2所述集成超疏水和变焦功能的微透镜阵列，其特征在于：所述透镜组由5个直径等差增长且直径范围为36-84μm，高度5-10μm...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈硕，曹皓，桂成群，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：