【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学检测设备，具体为一种单晶硅生产中光学检测设备。
技术介绍
1、单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其加工步骤一般为切割分段-测试-清洗-外圆研磨-检测分档-切片-倒角-清洗-磨片-清洗-检验-测厚分类。光学检测是其中的重要步骤，通过摄像头采集图像，将图像与数据库中的合格的参数进行比较，即可对物料做出评估。
2、当前市面上常见的单晶硅生产中光学检测设备在构造上大多类似，以传送设备为主体，通过传送带将经过切片清洗的单晶硅片送至检测摄像头下方，检测摄像头采集图像后并和后台数据库进行比对，在实际使用过程中存在一些功能上的不足，具备一定的改进空间，如经过清洗的单晶硅片表面容易残留部分水珠，在摄像头采集图像时容易形成干扰，不具备快速吹除水珠降低干扰的功能；其次，单晶硅片一般通过吸盘上料，在下放到传送带上时，容易出现位置偏移，偏移的单晶硅片在采集图像时，容易有边角遗漏，不具备导引位置减少偏移的功能；除此之外，在单晶硅片在放置时，其表面的水渍容易粘附在传送带上，随着水渍积多，传送带上容易形成反光区域，影响后续的图像采集，不具备水渍清理减少残留的功能。
3、现在，提出一种新型的单晶硅生产中光学检测设备解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种单晶硅生产中光学检测设备，以解决上述
技术介绍
中提出的不具备快速吹除水珠降低干扰的功能的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单
3、所述物料表面清理结构包括凹型架，所述凹型架固定连接在凹型槽顶部的中间位置处，所述凹型架顶部的中间位置处固定连接有集风腔，所述集风腔顶端的内部固定连接有复合滤芯，所述集风腔的前端设置有第一气泵接口，所述集风腔的底部竖向固定连接有喷吹嘴。
4、优选的，所述集风腔、第一气泵接口、喷吹嘴的内部相连通。
5、优选的，所述复合滤芯的内部均匀设置有多组小孔。
6、优选的，所述定位气缸关于固定座的垂直中心线对称分布。
7、优选的，所述定位橡胶辊的底端和传送带的顶端之间有距离，二者不相接触。
8、优选的，所述底部槽一侧的底部固定连接有第二气泵接口，所述底部槽内部底端的一侧固定连接有内腔体，所述内腔体内部的一侧安装有多组电热丝，所述内腔体顶部的一侧设置有喷风口，所述底部槽内部底端的另一侧斜向固定连接有斜面刮板，所述底部槽底部一侧的中间位置处固定连接有排液口，所述斜面刮板的顶端和传送带的底端相接触，二者不相连接。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：该单晶硅生产中光学检测设备不仅实现了快速吹除水珠降低干扰的功能，实现了导引位置减少偏移的功能，而且实现了水渍清理减少残留的功能；
10、(1)通过设置有凹型架、集风腔、复合滤芯、第一气泵接口和喷吹嘴，使用时，上料机构将经过切割的单晶硅片水平放置在传送带上，单晶硅片到达“l”形支架下方，光学检测摄像头采集单晶硅片的图像信息，和后台数据库中的数据进行比对，在单晶硅片行进过程中，将气泵接入第一气泵接口，当其到达凹型架下方时，气泵向集风腔内持续泵气，高压气流沿着集风腔向喷吹嘴处运行，喷吹嘴向下喷出气流，将硅片表面的水珠吹除，复合滤芯可以滤除空气中的漂浮物，避免对硅片表面造成污染，实现了快速吹除水珠降低干扰的功能；
11、(2)通过设置有固定座、定位气缸、定位叉臂和定位橡胶辊，使用时，随着上料机构将单晶硅片放置在传送带上，固定座上的两组定位气缸同步延伸，四组定位气缸相对运行，定位叉臂推动定位橡胶辊贴合在硅片侧边，将其位置送至传送带中央位置，避免在采集图像时出现边角遗漏，实现了导引位置减少偏移的功能；
12、(3)通过设置有底部槽、第二气泵接口、内腔体、电热丝、喷风口、斜面刮板和排液口，使用时，经过检测的硅片被取走，硅片上残留的水渍留在传送带上，随着传送带到达底部槽上，斜面刮板贴合在传送带表面将水液刮下使其沿着排液口排出，外部气泵接入第二气泵接口并持续泵气，气流涌入内腔体并经过电热丝加热，热气流再沿着喷风口喷出，对传送带做进一步加热，实现了水渍清理减少残留的功能。
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1.一种单晶硅生产中光学检测设备，包括凹型槽(1)，其特征在于：所述凹型槽(1)的底部固定连接有支撑架(2)，所述凹型槽(1)顶端的内部安装有传送带(3)，所述凹型槽(1)顶部后端的一侧固定连接有“L”形支架(4)，所述“L”形支架(4)顶部的中间位置处安装有光学检测摄像头(5)，所述凹型槽(1)顶部另一侧的前后两端分别固定连接有固定座(11)，所述固定座(11)的一端安装有两组定位气缸(12)，所述定位气缸(12)的一端固定连有定位叉臂(13)，所述定位叉臂(13)一端的底部活动连接有两组定位橡胶辊(14)，所述凹型槽(1)底部的一侧固定连接有底部槽(15)，所述凹型槽(1)顶部的中间位置处设置有物料表面清理结构；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产中光学检测设备，其特征在于：所述集风腔(7)、第一气泵接口(9)、喷吹嘴(10)的内部相连通。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产中光学检测设备，其特征在于：所述复合滤芯(8)的内部均匀设置有多组小孔。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产中光学检测设备，其特征在于：所述定位气缸(12)
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产中光学检测设备，其特征在于：所述定位橡胶辊(14)的底端和传送带(3)的顶端之间有距离，二者不相接触。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产中光学检测设备，其特征在于：所述底部槽(15)一侧的底部固定连接有第二气泵接口(16)，所述底部槽(15)内部底端的一侧固定连接有内腔体(17)，所述内腔体(17)内部的一侧安装有多组电热丝(18)，所述内腔体(17)顶部的一侧设置有喷风口(19)，所述底部槽(15)内部底端的另一侧斜向固定连接有斜面刮板(20)，所述底部槽(15)底部一侧的中间位置处固定连接有排液口(21)，所述斜面刮板(20)的顶端和传送带(3)的底端相接触，二者不相连接。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产中光学检测设备，包括凹型槽(1)，其特征在于：所述凹型槽(1)的底部固定连接有支撑架(2)，所述凹型槽(1)顶端的内部安装有传送带(3)，所述凹型槽(1)顶部后端的一侧固定连接有“l”形支架(4)，所述“l”形支架(4)顶部的中间位置处安装有光学检测摄像头(5)，所述凹型槽(1)顶部另一侧的前后两端分别固定连接有固定座(11)，所述固定座(11)的一端安装有两组定位气缸(12)，所述定位气缸(12)的一端固定连有定位叉臂(13)，所述定位叉臂(13)一端的底部活动连接有两组定位橡胶辊(14)，所述凹型槽(1)底部的一侧固定连接有底部槽(15)，所述凹型槽(1)顶部的中间位置处设置有物料表面清理结构；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产中光学检测设备，其特征在于：所述集风腔(7)、第一气泵接口(9)、喷吹嘴(10)的内部相连通。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产中光学检测设备，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：高贻刚，牛文富，汪沛渊，汪高峰，李一得，何曙光，王鹏，张林儿，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市中成榆能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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