【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产设备，具体为一种单晶硅自动化生产设备。
技术介绍
1、单晶制造业是一个高耗能的产业，在生产单晶硅的过程中需要电能转化成热能来提供单晶硅的生长环境，单晶生产时消耗电能总量较大，电费的昂贵和持续增长是导致单晶制造成本居高不下的一个主要原因，利用电能发热进行单晶生产的方式还会导致民用电紧张，对日常生活和其他工业用电都会造成不小的影响，现有技术中单晶硅生产过程中设备排放的尾气温度较高，不能有效回收利用，因此不利于降低单晶硅生产时的能源损耗，为此，我们提出一种单晶硅自动化生产设备。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种单晶硅自动化生产设备，解决了现有的问题。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种单晶硅自动化生产设备，包括设备箱，所述设备箱的内部固定安装有加工仓，所述加工仓上固定安装有排烟通道，所述排烟通道外周设置有热能回收机构，所述热能回收机构包括套设在排烟通道上的预热套管，所述预热套管内部设置有螺旋翅片，所述预热套管两端分别固定安装有进水管和出水管，所述出水管一端固定连接有环绕设置在加工仓外壁的换热管。
3、优选的，所述设备箱顶部固定安装有抽气泵，所述抽气泵的进气口与排烟通道固定连接，出气口通过出气管固定连接有过滤器，所述过滤器的一端固定连接有排气管。
4、优选的，所述排烟通道为固定安装在加工仓上的排烟管。
5、优选的，所述加工仓的外壁套设有保温层。
6、优选的，所述螺旋翅
7、优选的，所述换热管螺旋环绕设置加工仓外周壁。
8、优选的，所述保温层为陶瓷保温层。
9、优选的，所述过滤器的内部自上而下依次固定安装有过滤网和活性炭吸附网。
10、优选的，所述排气管贯穿插接在保温层内部且一端延伸至设备箱外部。
11、有益效果
12、本技术提供了一种单晶硅自动化生产设备。与现有技术相比具备以下有益效果：
13、1、该一种单晶硅自动化生产设备，制作单晶硅的过程中，需要单晶硅加入加工仓内通过加热以及通入惰性气体对其进行真空熔炼，本技术通过排烟管的外周设置热能回收机构，热能回收机构包括预热套管、螺旋翅片等，将外部水通过进水管充入预热套管内部，利用水在预热套管内部流动将排烟管内部排放尾气热量进行吸收，预热套管内部设置螺旋翅片增加与排烟管内部烟气的换热面积，水沿螺旋翅片螺旋间隙流动，从而增大行程，使水充分加热，进而水再从出水管流进加工仓外周环绕设置的换热管内部对加工仓进行加热保温，达到尾气余热利用的目的，更加节能，经济效益好，降低单晶硅生产时的热能损耗。
14、2、该一种单晶硅自动化生产设备，设备箱顶部固定安装抽气泵，抽气泵的进气口与排烟管连接，出气口与过滤器连接，过滤器内部固定安装有过滤网和活性炭吸附网，从而通过过滤网和活性炭吸附网能对排烟管内部排放烟气进行过滤吸附的净化处理，另外通过在加工仓外周壁固定安装保温层对加工仓壳体保温进一步降低热能损耗，以及将过滤器一端连接的排气管贯穿通过保温层，能对排气管内部净化后的烟气中的热量与加工仓壳体换热使热量进一步利用，进一步降低单晶硅生产时的热能损耗。
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1.一种单晶硅自动化生产设备，包括设备箱(1)，其特征在于：所述设备箱(1)的内部固定安装有加工仓(2)，所述加工仓(2)上固定安装有排烟通道，所述排烟通道外周设置有热能回收机构(4)，所述热能回收机构(4)包括套设在排烟通道上的预热套管(41)，所述预热套管(41)内部设置有螺旋翅片(42)，所述预热套管(41)两端分别固定安装有进水管(43)和出水管(44)，所述出水管(44)一端固定连接有环绕设置在加工仓(2)外壁的换热管(5)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述设备箱(1)顶部固定安装有抽气泵(7)，所述抽气泵(7)的进气口与排烟通道固定连接，出气口通过出气管(8)固定连接有过滤器(9)，所述过滤器(9)的一端固定连接有排气管(10)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述排烟通道为固定安装在加工仓(2)上的排烟管(3)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述加工仓(2)的外壁套设有保温层(6)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述换热管(5)螺旋环绕设置加工仓(2)外周壁。
7.根据权利要求4所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述保温层(6)为陶瓷保温层。
8.根据权利要求2所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述过滤器(9)的内部自上而下依次固定安装有过滤网(91)和活性炭吸附网(92)。
9.根据权利要求2所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述排气管(10)贯穿插接在保温层(6)内部且一端延伸至设备箱(1)外部。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅自动化生产设备，包括设备箱(1)，其特征在于：所述设备箱(1)的内部固定安装有加工仓(2)，所述加工仓(2)上固定安装有排烟通道，所述排烟通道外周设置有热能回收机构(4)，所述热能回收机构(4)包括套设在排烟通道上的预热套管(41)，所述预热套管(41)内部设置有螺旋翅片(42)，所述预热套管(41)两端分别固定安装有进水管(43)和出水管(44)，所述出水管(44)一端固定连接有环绕设置在加工仓(2)外壁的换热管(5)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述设备箱(1)顶部固定安装有抽气泵(7)，所述抽气泵(7)的进气口与排烟通道固定连接，出气口通过出气管(8)固定连接有过滤器(9)，所述过滤器(9)的一端固定连接有排气管(10)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅自动化生产设备，其特征在于：所述排烟通道为固定安装在加工仓(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪沛渊，高贻刚，汪高峰，王鹏，何曙光，李一得，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市中成榆能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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